[发明专利]彩色滤光基板及其形成方法和光罩

权利要求书

1.一种彩色滤光基板的形成方法，其特征在于，包括：

提供基板；

在所述基板上形成具有多个开口的黑色矩阵，所述黑色矩阵包括形成有多个开口的开口区和位于所述开口区周围的额缘区；

在所述黑色矩阵上形成彩色光阻层；形成于开口区的彩色光阻层包括填充于开口中的多个彩色光阻和覆盖于相邻彩色光阻之间黑色矩阵上的光阻垫块，形成于所述额缘区的彩色光阻层为覆盖在黑色矩阵上的不等厚彩色光阻层，所述不等厚彩色光阻层包括与开口区彩色光阻位置对应的第一厚度区域和与开口区光阻垫块位置对应的第二厚度区域，所述第一厚度区域的不等厚彩色光阻层具有第一厚度，所述第二厚度区域的不等厚彩色光阻层具有第二厚度，所述第二厚度小于所述第一厚度；

在所述彩色光阻层上形成间隔柱；所述开口区的间隔柱形成于所述光阻垫块上，所述额缘区的间隔柱形成于第二厚度区域；

其中，在所述基板上形成具有多个开口的黑色矩阵的步骤中：所述多个开口呈矩阵式排列，所述开口为沿列向延伸的长方形结构；

在所述黑色矩阵上形成彩色光阻层的步骤包括：

在开口区形成沿列向延伸的多列条状光阻层，所述条状光阻层覆盖列向数个开口和相邻开口之间的黑色矩阵，填充于所述开口中的条状光阻层为所述彩色光阻，覆盖在相邻开口之间的黑色矩阵上的条状光阻层为所述光阻垫块；

在所述额缘区形成沿列向延伸的多列不等厚彩色光阻层，所述不等厚彩色光阻层为条状光阻层，所述不等厚彩色光阻层中第一厚度区域为沿列向延伸的长方形结构，所述不等厚彩色光阻层中第二厚度区域位于相邻两个第一厚度区域之间；

其中，在所述黑色矩阵上形成彩色光阻层的步骤至少包括：

在所述黑色矩阵上涂布红色光阻，通过光刻在所述开口区和额缘区分别形成红色光阻层和红色不等厚光阻层；

在所述黑色矩阵上涂布绿色光阻，通过光刻在所述开口区和额缘区分别形成绿色光阻层和绿色不等厚光阻层；

在所述黑色矩阵上涂布蓝色光阻，通过光刻在所述开口区和额缘区分别形成蓝色光阻层和蓝色不等厚光阻层；

所述红色光阻层包括填充于开口区开口中的红色光阻和覆盖在相邻开口之间的黑色矩阵上的红色光阻垫块；

所述绿色光阻层包括填充于开口区开口中的绿色光阻和覆盖在相邻开口之间的黑色矩阵上的绿色光阻垫块；

所述蓝色光阻层包括填充于开口区开口中的蓝色光阻和覆盖在相邻开口之间的黑色矩阵上的蓝色光阻垫块；

所述红色光阻、绿色光阻、蓝色光阻用于构成所述彩色光阻，所述红色不等厚光阻层、绿色不等厚光阻层和蓝色不等厚光阻层用于构成所述额缘区的不等厚彩色光阻层。

2.如权利要求1所述的彩色滤光基板的形成方法，其特征在于，在所述基板上形成具有多个开口的黑色矩阵的步骤中，在额缘区形成的不等厚彩色光阻层中第二厚度区域沿列向的尺寸为10～150μm。

3.如权利要求1所述的彩色滤光基板的形成方法，其特征在于，在形成彩色光阻层的步骤中，所述红色光阻、绿色光阻、蓝色光阻成三角型、条型或马赛克型排列。

4.如权利要求1所述的彩色滤光基板的形成方法，其特征在于，在彩色光阻层上形成间隔柱的步骤中，所述开口区和额缘区间隔柱顶端相对基板上表面的高度差为0～0.4μm。