[发明专利]一种多线硅片切割水溶性切削液及其制备方法有效
| 申请号： | 201510844920.6 | 申请日： | 2015-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN105273823B | 公开（公告）日： | 2018-06-08 |
| 发明（设计）人： | 蔺华林;韩生;王爱民;周祖新;吴志桥;余焓;于飞;卢德力;蒋继波;李原婷;邱丰;裴素鹏;祝俊;何忠义;熊丽萍 | 申请（专利权）人： | 上海应用技术学院 |
| 主分类号： | C10M173/02 | 分类号： | C10M173/02;C10N30/06;C10N30/04 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 杨军 |
| 地址： | 200235 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 水溶性切削液 硅片切割 多线 制备 表面活性剂 分散剂 润滑剂 渗透剂 重量百分比计算 再生利用性 技术标准 冷却性能 排屑能力 切割过程 分散性 切割液 切削液 侵润性 清洗性 润滑性 水中 保证 | ||
1.一种多线硅片切割水溶性切削液，其特征在于，各原料组分按重量百分比计算，其组成及含量如下：
所述渗透剂为聚乙二醇、十六碳醇、十八碳醇、二甘醇中任意两种或以上混合物；
所述表面活性剂为琥珀酸酯钠盐、乙二醇单丁醚、二乙二醇乙醚或二乙二醇丁醚；
所述润滑剂为聚氧乙烯3醚、聚氧乙烯9醚、聚氧乙烯12醚或脂肪醇EO/PO聚醚；
所述分散剂为聚乙烯月桂酸酯、丙烯酸聚乙二醇共聚物或椰子油酸聚氧乙烯酯。
2.如权利要求1所述的多线硅片切割水溶性切削液，其特征在于，各原料组分按重量百分比计算，其组成及含量如下：
所述渗透剂为聚乙二醇和十六碳醇的混合物；
所述表面活性剂为琥珀酸酯钠盐；
所述润滑剂为聚氧乙烯3醚；
所述分散剂为聚乙烯月桂酸酯。
3.如权利要求1所述的多线硅片切割水溶性切削液，其特征在于，各原料组分按重量百分比计算，其组成及含量如下：
所述渗透剂为十八碳醇和二甘醇的混合物；
所述表面活性剂为乙二醇单丁醚；
所述润滑剂为聚氧乙烯9醚；
所述分散剂为丙烯酸聚乙二醇共聚物。
4.如权利要求1所述的多线硅片切割水溶性切削液，其特征在于，各原料组分按重量百分比计算，其组成及含量如下：
所述渗透剂为聚乙二醇和二甘醇混合物；
所述表面活性剂为二乙二醇乙醚；
所述润滑剂为脂肪醇EO/PO聚醚；
所述分散剂为聚乙二醇双硬脂酸酯。
5.一种如权利要求1至4中任一项所述的多线硅片切割水溶性切削液的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：在水中，依次加入渗透剂、表面活性剂、润滑剂、分散剂后，进行搅拌混合均匀，即得多线硅片切割水溶性切削液。
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