[发明专利]一种高次谐振型石英音叉微悬臂及制作方法在审
| 申请号： | 201510845471.7 | 申请日： | 2015-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN105372454A | 公开（公告）日： | 2016-03-02 |
| 发明（设计）人： | 郑志月;许瑞;程志海 | 申请（专利权）人： | 国家纳米科学中心 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李相雨 |
| 地址： | 100080 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 谐振 石英 音叉 悬臂 制作方法 | ||
1.一种高次谐振型石英音叉微悬臂，其特征在于，包括：
石英音叉本体(1)；
所述石英音叉本体(1)包括音叉基部(11)、振动臂(12)和固定臂(13)；
所述振动臂(12)和所述固定臂(13)均与所述音叉基部(11)相连；
所述振动臂(12)包括第一区域(121)和第二区域(122)，所述第一区域(121)相距所述固定臂(13)的距离小于所述第二区域(122)相距所述固定臂(13)的距离，以使所述高次谐振型石英音叉微悬臂的高阶本征频率是基础频率的整数倍。
2.根据权利要求1所述的高次谐振型石英音叉微悬臂，其特征在于，所述第二区域(122)的形状为长方体。
3.根据权利要求1所述的高次谐振型石英音叉微悬臂，其特征在于，所述第二区域的(122)一侧与所述振动臂(12)的端头齐平。
4.根据权利要求1所述的高次谐振型石英音叉微悬臂，其特征在于，所述第二区域(122)的宽度与所述振动臂(12)的宽度相等。
5.根据权利要求1所述的高次谐振型石英音叉微悬臂，其特征在于，所述音叉基部(11)、振动臂(12)和固定臂(13)为一体成型。
6.一种原子力显微镜，其特征在于，包括权利要求1-5任一项所述的高次谐振型石英音叉微悬臂。
7.一种高次谐振型石英音叉微悬臂的制作方法，其特征在于，包括：
对现有的石英音叉进行切割加工或直接加工制作高次谐振型石英音叉微悬臂，改变石英音叉的质量分布，以使所述高次谐振型石英音叉微悬臂的高阶本征频率是基础频率的整数倍。
8.根据权利要求7所述的高次谐振型石英音叉微悬臂的制作方法，其特征在于，所述对现有的石英音叉进行切割加工包括：
在石英音叉本体的振动臂上切除质量块，以使所述振动臂上形成第一区域和第二区域，所述第一区域相距所述固定臂的距离小于所述第二区域相距所述固定臂的距离。
9.根据权利要求8所述的高次谐振型石英音叉微悬臂的制作方法，其特征在于，所述在石英音叉本体的振动臂上切除质量块，包括：
在石英音叉本体的振动臂上切除形状为长方体的质量块。
10.根据权利要求8所述的高次谐振型石英音叉微悬臂的制作方法，其特征在于，所述在石英音叉本体的振动臂上切除质量块，包括：
在所述振动臂上与所述振动臂的端头齐平地切除质量块，切除的质量块的宽度与所述振动臂的宽度相等。
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