[发明专利]电子装置、物理量传感器、压力传感器、振子以及高度计

权利要求书

1.一种电子装置，其特征在于，具备：

基板；

功能元件，其被配置于所述基板的一面侧；

壁部，其以在俯视观察所述基板时包围所述功能元件的方式而被配置在 所述基板的所述一面侧；

顶部，其相对于所述壁部而被配置在与所述基板相反的一侧，并同所述 壁部一起构成内部空间；

内侧梁部，其被配置在所述顶部的所述基板侧,在俯视观察时一部分与所 述顶部重叠，并含有与所述顶部相比热膨胀率较小的材料。

2.如权利要求1所述的电子装置，其中，

具备框部，所述框部与所述内侧梁部的端部连接，并含有与所述内侧梁 部相同的材料。

3.如权利要求1或2所述的电子装置，其中，

所述顶部含有铝，

所述内侧梁部含有钛或钛化合物。

4.如权利要求1至3中任一项所述的电子装置，其中，

所述顶部具有：

第一层；

第二层，其相对于所述第一层而被配置在与所述基板相反的一侧，并含 有与所述第一层相同的材料，

中间层，其被配置于所述第一层与所述第二层之间，并含有与所述第一 层以及所述第二层相比热膨胀率较小的材料。

5.如权利要求4所述的电子装置，其中，

具备外侧梁部，所述外侧梁部被配置于所述中间层与所述第二层之间且 在俯视观察时与所述内侧梁部的至少一部分重叠的位置处。

6.如权利要求1至5中任一项所述的电子装置，其中，

所述基板具有隔膜部，所述隔膜部被设置于在俯视观察时与所述顶部重 叠的位置处，并且通过受压而发生挠曲变形，

所述功能元件为通过变形而输出电信号的传感器元件。

7.一种物理量传感器，其特征在于，具备：

基板，其具有通过受压而发生挠曲变形的隔膜部；

传感器元件，其被配置于所述隔膜部的一面侧；

壁部，其以在俯视观察所述基板时包围所述传感器元件的方式而被配置 于所述基板的所述一面侧；

顶部，其相对于所述壁部而被配置在与所述基板相反的一侧，并同所述 壁部一起构成内部空间；

内侧梁部，其被配置于所述顶部的所述基板侧,并含有与所述顶部相比热 膨胀率较小的材料。

8.一种压力传感器，其特征在于，

具备权利要求1至6中任一项所述的电子装置。

9.一种振子，其特征在于，

具备权利要求1至6中任一项所述的电子装置。

10.一种高度计，其特征在于，

具备权利要求1至6中任一项所述的电子装置。

11.一种电子设备，其特征在于，

具备权利要求1至6中任一项所述的电子装置。

12.一种移动体，其特征在于，

具备权利要求1至6中任一项所述的电子装置。