[发明专利]鳍型场效应晶体管中鳍边缘粗糙度效应的电路仿真方法

权利要求书

1.一种鳍型场效应晶体管中鳍边缘粗糙度的电路仿真方法，包括如下步骤：

1)从鳍线条的电镜照片中提取出粗糙的鳍边缘，计算它的自相关函数；

2)利用公式f(δW_Fin，min)≈(1-α)·f₁(δW_Fin，min)+α·f₂(δW_Fin，min)，得到鳍边缘粗糙度影响下的鳍宽的分布值；其中f(δW_Fin，min)为鳍宽的分布值；W_Fin，min为最小鳍宽；

f₁＝pdf(δW_Fin)

其中，pdf(δW_Fin)和cdf(δW_Fin)为鳍宽偏量δW_Fin的概率密度分布和累计概率密度分布，通过测量得到；而为滑动平均因子，参数m通过拟合得到；L_g为鳍宽；Δ_FER为鳍边缘粗糙度的均方根；Λ_FER为鳍边缘粗糙度的相关长度；

3)将f(δW_Fin，min)嵌入到电路仿真软件的仿真网表，或先利用f(δW_Fin，min)计算得到δW_Fin，min的均值和方差，再将其嵌入到电路仿真软件的仿真网表中，用电路仿真软件进行电路仿真，即可得到鳍边缘粗糙度所造成的电路性能。

2.如权利要求1所述的鳍型场效应晶体管中鳍边缘粗糙度的电路仿真方法，其特征在于，步骤1)中采用高斯函数拟合，得到鳍边缘粗糙度的两个表征参数：均方根Δ_FER和相关长度Λ_FER。

3.如权利要求1所述的鳍型场效应晶体管中鳍边缘粗糙度的电路仿真方法，其特征在于，步骤3)采用HSPICE电路仿真软件。

4.如权利要求3所述的鳍型场效应晶体管中鳍边缘粗糙度的电路仿真方法，其特征在于，采用HSPICE电路仿真软件中的蒙特卡洛模式进行电路仿真。