[发明专利]红外线加热器和红外线处理装置

说明书

一种红外线加热器和红外线处理装置。红外线加热器(10)具备：被加热时放射红外线并能吸收规定反射波长区域的红外线的发热体(40)，和与发热体(40)隔着向外部空间开放的第1空间(47)而配设的过滤器部(50)。过滤器部(50)具备：透过来自发热体(40)的红外线中的至少一部分的1层以上的透过层(第1透过层51)，和向发热体(40)反射反射波长区域的红外线的反射部(第1透过层51)。

技术领域

本发明涉及一种红外线加热器和红外线处理装置。

背景技术

目前，作为放射红外线(0.7～1000μm波长范围)的红外线加热器和具备该红外线加热器的装置，开发出各种结构的产品。例如专利文献1中，记载有具备对工件照射红外线的红外线加热器和配设在工件与红外线加热器之间的红外线选择透过过滤器的装置。该装置中，红外线选择透过过滤器选择透过能够被工件上附带的密封剂良好地吸收的波长部分，而反射其他波长部分。由此使红外线选择透过过滤器自身不会被加热，也不会因自身加热使得气氛温度上升而引发工件劣化。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平9－136055号公报

发明内容

但是，专利文献1记载的装置中，被过滤器反射的红外线的能量没有被用于加热密封剂而成为无用能量。存在该被反射的红外线的能量导致炉壁、炉内高温化，由此使得过滤器的温度上升的情况。如果过滤器的温度上升，则例如从过滤器的耐热性的观点考虑，有时会限制红外线加热器的输出和连续使用。

本发明是为了解决这样的课题而提出的，主要目的在于增大使用时的发热体和过滤器部的温度差。

本发明为了实现上述主要目的而采用以下手段。

本发明的红外线加热器包括：

发热体，所述发热体被加热时放射红外线，并且能够吸收规定的反射波长区域的红外线，

过滤器部，所述过滤器部具有透过来自所述发热体的红外线中的至少一部分的1层以上的透过层和朝向所述发热体反射所述反射波长区域的红外线的反射部，所述过滤器部与所述发热体隔着向外部空间开放的第1空间进行配设。

该红外线加热器中，发热体被加热时放射红外线，该红外线通过包含1层以上的透过层的过滤器部，向例如对象物放射。此时，反射部具有反射规定反射波长区域的红外线的反射特性。另外，发热体能够吸收反射波长区域的红外线。因此，透过层透过来自发热体的红外线，由此，与进行吸收的情况相比，温度难以上升。另一方面，因为发热体能够吸收自身放射的红外线中的一部分用于自身加热，所以温度容易上升。由此，能够增大使用时的发热体和过滤器部(特别是最接近发热体的透过层)的温度差。应予说明，发热体和过滤器部的温度差变大，由此能够将例如透过层的温度保持在耐热温度以下，并且能够使发热体为高温，可增大向对象物放射的红外线的能量。另外，即使发热体的温度相同，本发明的红外线加热器也能够将过滤器部保持在更低温度。另外，可以将透过层的温度保持在耐热温度以下，并且缩短发热体和透过层的距离，结果也能够缩短发热体和对象物的距离。此处，上述外部空间可以为真空，也可以为真空以外的气氛。

本发明的红外线加热器中，上述透过层包含第1透过层，上述第1透过层兼作上述反射部的至少一部分，上述第1透过层具有反射规定的反射波长区域的红外线的反射特性，并且透过来自上述发热体的红外线中的至少一部分。