[发明专利]一种波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪及其测量方法

权利要求书

1.一种波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪，包括激光源(1)、分光镜(2)、固定阶梯平面角反射镜(3)、测量角反射镜装置(4)、光电探测器组(5)，其特征在于：

所述测量角反射镜装置(4)包括测量角反射镜(7)与精密位移装置(6)，所述测量角反射镜(7)设置在所述精密位移装置(6)上，所述精密位移装置(6)设置在被测物体上，所述精密位移装置(6)为所述测量角反射镜(7)提供与被测物体位移同向或反向的位移；

所述激光源(1)包括n个平行激光束，其中n≥2，所述光电探测器组(5)包括n个光电探测器件；

所述固定阶梯平面角反射镜(3)包括成直角的两个反射阶梯面，每个所述反射阶梯面包括n个成阶梯形的反射平面，相邻两个反射平面的间距等于其中k为自然数、λ为激光源(1)发出的激光波长，所述测量角反射镜(7)包括成直角的两个反射平面；

所述激光源(1)发出的每束激光经过所述分光镜(2)反射后，分别射入对应一个反射平面，每个所述反射平面将每束激光反射到对应的所述光电探测器组(5)的各个光电探测器件；所述激光源(1)发出的每束激光经过所述分光镜(2)透射后，分别入射到所述测量角反射镜(7)后反射到对应的光电探测器组(5)的各个光电探测器件。

2.根据权利要求1所述的一种波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪，其特征在于，所述精密位移装置包括支撑平台和设置在所述支撑平台上的驱动装置，所述支撑平台与所述被测物体相配合，所述驱动装置为所述测量角反射镜提供在被测物体位移方向上的位移。

3.根据权利要求2所示的一种波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪，其特征在于，所述驱动装置为压电陶瓷型驱动装置。

4.根据权利要求2或3所述的一种波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪，其特征在于，还包括设置在所述支撑平台上的第一位移件和设置在所述第一位移件上的第二位移件，所述驱动装置与所述第一位移件相配合，为所述第一位移件提供沿所述支撑平台的位移，所述第一位移件具有一相对于其位移方向倾斜的斜面，所述第二位移件滑动设置在所述第一位移件的斜面上，使所述第二位移件可沿所述第一位移件的斜面滑动，所述第一位移件与第二位移件之间贴紧配合，所述测量角反射镜设置在所述第二位移件上，所述支撑平台上还设置有约束装置，所述约束装置限制所述第二位移件沿所述第一位移件位移方向上的运动，使得当第一位移件被所述驱动装置带动而产生位移时，所述第二位移件被所述第一位移件带动而产生位移，并且，所述第二位移件的位移方向与所述第一位移件的位移方向相垂直，所述第一位移件的斜面与其位移方向的夹角为A度，0<A<45。

5.如权利要求4所述的波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪，其特征在于，所述第一位移件与所述支撑平台之间还设置有具有磁性的磁性件，所述第二位移件具有磁性，所述第二位移件与所述磁性件为异性相吸状态。

6.如权利要求4所述的波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪，其特征在于，所述第二位移件与所述测量角反射镜为一体式结构。