[发明专利]一种化学气相沉积法制备镍带材的方法在审
申请号: | 201510848713.8 | 申请日: | 2015-11-30 |
公开(公告)号: | CN105463400A | 公开(公告)日: | 2016-04-06 |
发明(设计)人: | 杨志强;王芳镇;肖冬明;禹松涛;李登瑞;冀文利;王大窝;陈旭军;白玉婷;陈菊华;宋晓红 | 申请(专利权)人: | 金川集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/16 | 分类号: | C23C16/16 |
代理公司: | 中国有色金属工业专利中心 11028 | 代理人: | 孙久姗;李子健 |
地址: | 737103*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 化学 沉积 法制 备镍带材 方法 | ||
1.一种化学气相沉积法制备镍带材的方法,其特征在于,在该方法中,使用热解炉对带状镍基材进行加热;将液态羰基镍经汽化器汽化,气态羰基镍与CO气体混合后通入热解炉中,气态羰基镍在带状镍基材表面生成镍和CO气体,镍沉积在带状镍基材表面,即得到镍带材。
2.根据权利要求1所述的制备镍带材的方法,其特征在于,所述热解炉的带状镍基材的入料口和出料口处设有辊轴,同时,所述热解炉的底部和顶部设置有红外加热装置。
3.根据权利要求1所述的制备镍带材的方法,其特征在于,带状镍基材的加热温度为140℃~300℃。
4.根据权利要求1所述的制备镍带材的方法,其特征在于,所述气态羰基镍与CO气体混合的质量比为1:1~4。
5.根据权利要求1所述的制备镍带材的方法,其特征在于,在制备镍带材的过程中,控制热解炉内的压力为1~10kPa。
6.根据权利要求1所述的制备镍带材的方法,其特征在于,镍沉积在带状镍基材表面,经72~120小时后,即得到镍带材。
7.根据权利要求1所述的制备镍带材的方法,其特征在于,反应完成后的CO气体由所述热解炉底部排出并进行处理。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的