[发明专利]一种镀膜系统以及提高切削刀具的镀膜附着力的方法

权利要求书

1.一种镀膜系统，包括镀膜室、气体单元、质量流量控制单元、放电控制单元、以及真空单元，其特征在于：

所述放电控制单元包括设置于镀膜室内的两个阴极靶、增置阳极、以及设置于镀膜室外的弧电源、稳压电源和多个开关，所述两个阴极靶包括第一阴极靶和第二阴极靶，增置阳极包括第一增置阳极和第二增置阳极，弧电源包括第一弧电源和第二弧电源，稳压电源包括第一稳压电源和第二稳压电源；

所述第一阴极靶与所述第一弧电源的负极相连，所述第一弧电源的正极与所述镀膜室通过第三开关相连，第一弧电源的正极与所述第二增置阳极通过第七和第四开关相连；所述第一稳压电源的负极与所述镀膜室连接，所述第一稳压电源的正极与所述第一增置阳极通过第五开关和第一开关连接；

所述第二阴极靶与所述第二弧电源的负极相连，所述第二弧电源的正极与所述镀膜室通过第二开关相连，第二弧电源的正极与所述第一增置阳极通过第六开关和第一开关相连；所述第二稳压电源的负极与所述镀膜室连接，所述第二稳压电源的正极与所述第二增置阳极通过第八开关和第四开关连接；

第二增置阳极内部装置磁铁，其感应强度设为500-1000高斯。

2.根据权利要求1所述的镀膜系统，其特征在于：所述第一增置阳极的内部设有磁铁。

3.根据权利要求1所述的镀膜系统，其特征在于：所述第一增置阳极和第二增置阳极设置为分别与所述第二阴极靶和所述第一阴极靶的位置方向相对。

4.根据权利要求1所述的镀膜系统，其特征在于：所述第一阴极靶的材质为钛，所述第二阴极靶的材质为铝。

5.提高切削刀具的镀膜附着力的方法，其特征在于：应用如权利要求1～4任一项所述的镀膜系统对切削刀具进行镀膜。

6.根据权利要求5所述的提高切削刀具的镀膜附着力的方法，其特征在于：使两个阴极靶中的任意一个阴极靶与镀膜室相连，另一个阴极靶与增置阳极相连，至少有一个阴极靶对增置阳极放电。

7.根据权利要求5所述的提高切削刀具的镀膜附着力的方法，其特征在于：所述增置阳极的内部包含感应强度为500～1000高斯的磁铁。

8.根据权利要求5所述的提高切削刀具的镀膜附着力的方法，其特征在于：镀膜室与第一弧电源阳极连接时，镀膜室为阳极A，当第一弧电源的阳极与第二增置阳极连接时，第二增置阳极为阳极A＇，当第一稳压电源的阳极与第一增置阳极连接时，第一增置阳极为阳极A；

镀膜室与第二弧电源阳极连接时，镀膜室为阳极B，当第二弧电源的阳极与第一增置阳极连接时，第一增置阳极为阳极B＇，当第二稳压电源的阳极与第二增置阳极连接时，第二增置阳极为B；

镀膜时，镀膜室内的阳极为A B＇B、A＇AB、A B＇B或A＇AB，并按照A B＇B、A＇AB、A B＇B、A＇AB的顺序反复循环多次。

9.根据权利要求5所述的提高切削刀具的镀膜附着力的方法，其特征在于，控制放电电压的步骤如下：

步骤一、关闭第一开关、第二开关、第四开关、第五开关和第七开关，同时打开第三开关、第六开关和第八开关；

步骤二、关闭第一开关、第三开关、第四开关、第六开关和第八开关，同时打开第二开关、第七开关和第五开关；

步骤一和步骤二的开关状态控制交替进行多次。