[发明专利]电光相位调制器

权利要求书

1.一种电光相位调制器(100)，旨在调制入射到所述调制器(100) 上的光波(1)的光学相位，包括：

-光学透明的电光基板(110)，其包括入射面(111)、出射面(112)、 两个侧面(115、116)、下表面(114)和上表面(113)，所述下表面(114) 和上表面(113)在所述入射面(111)和所述出射面(112)之间延伸，所 述上表面(113)是平面的且与所述下表面(114)相对，

-光波导(120)，其在平行于所述上表面(113)的平面中，在位于 所述基板(110)的所述入射面(111)上的波导入射端(121)和位于所述 基板(110)的所述出射面(112)上的波导出射端(122)之间延伸，所述 入射光波(1)被部分耦合入所述光波导(120)中成为以光学引导的方式 沿着在所述波导入射端(121)和出射端(122)之间的所述光波导(120) 的光路传播的引导光波(3)，和

-至少两个电极(131、132、133)，其至少部分地沿着所述波导(120)， 平行于并且在所述波导的任意一侧被布置，并且在彼此之间限定内电极间 隙(118)，当在所述电极之间施加调制电压(V_m)时，所述电极(131、 132、133)允许在所述光波导(120)中传播的所述引导光波(3)上引入 作为所述调制电压(V_m)的函数的调制相移，

其特征在于，所述光波导(120)在所述入射端(121)和所述至少两 个电极(131，132)之间具有至少一个第一弯曲波导部分(124)，以使与 所述波导(120)在所述入射面(111)上相切的方向(121T)的延伸从所 述内电极间隙(118)偏离。

2.根据权利要求1所述的相位调制器，其中由所述第一弯曲波导部分 (124)引入的间隙H相应于在所述相切的方向(121T)和位于所述光波 导(120)和所述相切的方向(121T)之间的第一电极(131)的内边缘(131A) 之间的距离，所述距离在垂直于所述相切的方向(121T)且包含所述第一 电极(131)的前边缘(131C)的前平面(Pa)内测量，所述间隙H高于 预定的阈值H_min。

3.根据权利要求2所述的相位调制器(100)，其中所述阈值H_min被 预定使得，所述入射光波(1)被部分耦合入所述基板(110)中形成以非 光学引导的方式在所述基板(110)中传播的且在所述前平面(Pa)中具 有空间延伸w的光波，所述预定的阈值H_min大于或等于w/2。

4.根据权利要求2所述的相位调制器(100)，其中所述阈值H_min被 预定使得，所述入射光波(1)被部分耦合入所述基板(110)中形成以非 光学引导的方式在所述基板(110)中传播的且在所述前平面(Pa)中具 有空间延伸w的光波，且所述内电极间隙(118)具有宽度(E)，所述预 定的阈值H_min等于w/2+E。

5.根据权利要求1至4之一所述的电光相位调制器(100)，其中所 述光波导(120)在所述至少两个电极(131、132)和所述波导出射端(122) 之间具有至少一个第二弯曲波导部分(125)。

6.根据权利要求1所述的电光相位调制器(100)，其中所述第一弯 曲波导部分(124)具有S形。

7.根据权利要求5所述的电光相位调制器(100)，其中所述第一弯 曲波导部分(124)和/或所述第二弯曲波导部分(125)具有S形。

8.根据权利要求1所述的电光相位调制器(100)，其中所述第一弯 曲波导部分(124)具有曲率半径R_c，其值大于预定的最小值R_c，min，以使 由每个弯曲波导部分(124、125)引起的光损耗小于0.5dB。