[发明专利]一种基板交接装置及交接方法

权利要求书

1.一种基板交接装置，其特征在于，包括气浮台和工作台：

所述气浮台包括固定气浮单元和升降气浮单元，

所述固定气浮单元包括第一底座、第一水平向驱动轴、固定气浮块、真空吸盘以及吸盘升降气缸，所述第一水平向驱动轴和固定气浮块均固定于所述第一底座上，所述吸盘升降气缸安装于所述第一水平向驱动轴上，并由所述第一水平向驱动轴驱动在水平面上沿直线运动，所述真空吸盘固定于所述吸盘升降气缸上，并由所述吸盘升降气缸驱动沿垂向运动；

所述升降气浮单元设置于所述固定气浮单元与所述工作台之间，其包括升降气浮块和第一垂向驱动轴，所述升降气浮块固定于所述第一垂向驱动轴上，并由所述第一垂向驱动轴驱动沿垂向运动；

所述工作台包括第二底座、第二水平向驱动轴、第二垂向驱动轴、工作平台以及缓冲器，所述第二水平向驱动轴固定于所述第二底座上，所述第二垂向驱动轴安装于所述第二水平向驱动轴上，并由所述第二水平向驱动轴驱动在水平面上沿直线运动；所述工作平台安装于所述第二垂向驱动轴上，并由所述第二垂向驱动轴驱动沿垂向运动；所述缓冲器固定于所述第二垂向驱动轴上，且位于所述工作平台下方；

当所述工作平台升起时，所述工作平台的上表面高于所述固定气浮块的上表面；当所述工作平台落下时，所述工作平台的上表面低于所述固定气浮块的上表面。

2.如权利要求1所述的一种基板交接装置，其特征在于，当所述第一垂向驱动轴收缩时，所述升降气浮块的位置与所述缓冲器的位置对应，且所述升降气浮块的上表面低于所述工作平台的下表面。

3.如权利要求1所述的一种基板交接装置，其特征在于，当所述第一垂向驱动轴顶起时，所述升降气浮块的上表面与所述固定气浮块的上表面平齐。

4.如权利要求1所述的一种基板交接装置，其特征在于，当所述第一垂向驱动轴顶起时，所述升降气浮块与所述固定气浮块之间的距离小于10mm。

5.如权利要求1所述的一种基板交接装置，其特征在于，当基板从所述气浮台向所述工作台传送时，所述第二垂向驱动轴控制所述工作平台升起；当基板从所述工作台向所述气浮台传送时，所述第二垂向驱动轴控制所述工作平台落下。

6.如权利要求1所述的一种基板交接装置，其特征在于，所述升降气浮单元的数量为三个，三个升降气浮单元沿垂直于基板的传送方向均布于所述固定气浮块与所述工作平台之间。

7.一种基板交接方法，应用于如权利要求1所述的基板交接装置中，其特征在于，包括如下步骤：

S1：初始化，所述吸盘升降气缸、第一垂向驱动轴以及第二垂向驱动轴均处于收缩状态，所述第二水平向驱动轴带动工作平台运动至接板位置；

S2：将基板放置于所述固定气浮块上；

S3：将所述基板悬浮于所述固定气浮块上，所述吸盘升降气缸升起，并由所述真空吸盘吸附所述基板；

S4：所述第一水平向驱动轴带动所述真空吸盘靠近所述工作台；所述第一垂向驱动轴驱动所述升降气浮块升起，直至所述基板传送至所述工作平台上；

S5：所述第二垂向驱动轴驱动工作平台升起，所述第一水平向驱动轴驱动所述真空吸盘远离所述工作台，直至所述基板传送至所述固定气浮块上。

8.如权利要求7所述的一种基板交接方法，其特征在于，所述第二垂向驱动轴驱动所述工作平台升降，使所述基板沿其传送方向由高处向低处传送。

9.如权利要求7所述的一种基板交接方法，其特征在于，所述第二水平向驱动轴带动工作平台运动至接板位置之前，所述第一垂向驱动轴始终处于收缩状态。

10.如权利要求9所述的一种基板交接方法，其特征在于，所述第二水平向驱动轴失控，带动所述工作平台撞向所述气浮台时，所述缓冲器与所述升降气浮块接触，使所述工作平台停止运动。