[发明专利]一种短波红外多通道集成光谱组件有效
| 申请号： | 201510864335.2 | 申请日： | 2015-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN105371951B | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 邵秀梅;周东平;方家熊;程吉凤;徐勤飞;黄松垒;陈郁 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所;上海晶鼎光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/28 | 分类号： | G01J3/28;G01J3/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 短波 红外 通道 集成 光谱 组件 | ||
1.一种短波红外多通道集成光谱组件，包括高长宽比InGaAs线列光敏芯片(1)、读出电路(2)、过渡电极板(3)、测温电阻(4)、半导体致冷器(5)、多通道数字式分光器(6)、窗口(7)、金属管壳(8)与盖板(9)，其特征在于：
所述的高长宽比InGaAs线列光敏芯片(1)与读出电路(2)通过倒焊互连，形成焦平面模块，胶接在过渡电极板(3)上；在高长宽比InGaAs线列光敏芯片(1)上对准装配多通道数字式分光器(6)；在金属管壳(8)内，焊接半导体致冷器(5)；半导体致冷器(5)上胶接过渡电极板(3)；测温电阻(4)胶接过渡电极板(3)上；窗口(7)焊接在盖板(9)上；盖板(9)与金属管壳(8)进行焊接密封；其中，读出电路(2)与过渡电极板(3)通过金属丝实现电学连接，过渡电极板(3)、测温电阻(4)与金属管壳(8)的引脚通过金属丝实现电学连接；多通道数字式分光器(6)通过边缘金属化焊接光谱通道以外的区域，直接与高长宽比InGaAs线列光敏芯片(1)耦合，集成到短波红外多通道集成光谱组件中，密封在一个金属管壳(8)的内部，在微小区域内构成有多个光谱通道的集成光谱组件；
所述的多通道数字式分光器(6)为一个单片多通道短波红外滤光片，光谱通道数为64、128或者256，各通道的光谱连续均匀分布或不连续分布，每个通道的光谱带宽2nm～5nm，中心波长定位精度±1nm，透过率≥50％，单个通道内的光谱噪声小于1％，通道间的串音小于1％，在分光通道以外的区域沉积短波红外波段透过率小于0.1％的光学薄膜。
2.根据权利要求1所述的一种短波红外多通道集成光谱组件，其特征在于：所述的高长宽比InGaAs线列光敏芯片(1)的光敏元为长方形结构，长宽比为10:1或者20:1。
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