[发明专利]一种砂轮修整装置

权利要求书

1.一种砂轮修整装置，应用于晶圆磨削设备，其特征在于，包括：

一用于砂轮修整的修整部；

一用于带动所述修整部转动的旋转机构，所述修整部固定连接于所述旋转机构；

一线性马达模组(1)，所述线性马达模组(1)上设置有一模组连接板(2)，所述旋转机构与所述模组连接板(2)固定连接，通过所述模组连接板(2)在所述线性马达模组(1)上沿线性方向的移动带动所述修整部进给。

2.根据权利要求1所述的砂轮修整装置，其特征在于，所述修整部包括一油石(15)、与所述旋转机构固定连接的一油石连接板(13)、设置于所述油石连接板(13)上用于固定所述油石(15)的一油石夹具(14)。

3.根据权利要求1所述的砂轮修整装置，其特征在于，所述旋转机构包括：

第一端与所述修整部固定连接的一旋转轴(6)；

一步进电机(3)，所述步进电机(3)的输出轴通过一联轴器(5)与所述旋转轴(6)的第二端连接，所述输出轴转动时，带动所述联轴器(5)使所述旋转轴(6)转动。

4.根据权利要求3所述的砂轮修整装置，其特征在于，所述旋转轴(6)外周套设有一轴承座(9)，所述轴承座(9)固定于所述模组连接板(2)。

5.根据权利要求4所述的砂轮修整装置，其特征在于，所述旋转轴(6)与所述轴承座(9)之间设置有套设于所述旋转轴(6)的多个轴承(11)、多个内隔圈(10)、至少一个外隔圈(12)、一防尘轴承盖(8)以及一防松动轴承帽(7)。

6.根据权利要求3所述的砂轮修整装置，其特征在于，所述步进电机(3)的输出轴一侧设置有一旋转电机座(4)，所述旋转电机座(4)固定于所述模组连接板(2)。