[发明专利]一种基于导模共振的滤波器及其制作方法

权利要求书

1.一种基于导模共振的滤波器，其特征在于，由上部光栅层、薄膜层和下部石英基底两层组成，薄膜层的折射率高于基底层和光栅层，光栅层为由光敏性材料曝光形成的周期性的结构。

2.根据权利要求1所述基于导模共振的滤波器的制作方法，其特征在于，具体包括如下步骤：

1)、在厚度为d₃，折射率为n₃的石英基底上镀一层折射率为n₂，厚度为d₂的薄膜层，再在薄膜层上制作一层厚度为d₁的薄膜，薄膜为折射率n₁的光敏性材料，此光敏性材料的折射率会根据光照而改变；

2)在同一紫外激光光源下经过相位掩模板对光敏性材料进行曝光，再通过控制曝光时间和光源强度，得到所需的填充系数f和刻槽深度，并且形成周期性的结构，为光栅层，且曝光后的光栅层折射率为n_h，其中填充系数f为光栅刻槽宽度和光栅周期比值。

3.根据权利要求2所述基于导模共振的滤波器的制作方法，其特征在于，所述光栅层的平均折射率n_av>max(n₃、n_空气)，n_空气为空气的折射率，并且n_av＝[f×n_h²+(1-f)×n₁²]^1/2。

4.根据权利要求3所述基于导模共振的滤波器的制作方法，其特征在于，所述n_av、d₁、d₂取满足导模共振条件，d₁、d₂满足抗反射条件。