[发明专利]一种新型机器人及其制作方法

权利要求书

1.一种新型机器人，其特征在于，在机器人的外部安装气体检测模块，该气体检测模块包括柔性基底、发光层、空穴传输层、丝网状阴极，其中，柔性衬底为导电塑料ITO-PET，多孔结构YSZ为空穴传输层。

2.根据权利要求1所述的机器人，其特征在于，所述YSZ浆料厚度为2μm涂覆在导电塑料表面。

3.一种新型机器人的制作方法，其特征在于，在机器人的外部安装气体检测模块，该气体检测模块的制作步骤如下：

有机电致发光气体传感器制备工艺涉及薄膜技术及薄膜处理工艺等，主要包括有机小分子或高分子聚合物等的有机薄膜的制备、金属电极的制备和器件封装等工艺；

具体步骤为：导电塑料ITO-PET表面清洗及处理，基片置于真空腔，真空蒸镀有机层，蒸镀金属电极，封装或测试；

(1)导电塑料ITO-PET清洗

首先，切割特定尺寸的ITO-PET，用专用洗涤剂和无尘布对ITO-PET基片进行搓洗，以去除基片上的各种油污物，然后依次放入复合生物酶液(可选)，去离子水、丙酮、乙醇中，各超声15min；然后，用高纯氮气吹干ITO-PET，使乙醇蒸发，然后放入预处理腔中，持续通入高纯氧气，用等离子体轰击基片5min；

所述复合生物酶的成分为：碱性蛋白酶0.2-0.5g/L,纤维素酶0.9-1.3g/L，多酚氧化酶0.05g/L，其余为去离子水。

(2)多孔结构YSZ制备

a)称取适量的Ni(NO₃)₂·6H₂O和去离子水放入烧杯中充分溶解，在磁力搅拌的作用下用分液漏斗缓慢滴入氨水，使之充分反应，滴定完毕后80℃水浴1h得到悬浊液，经离心机分离得到沉淀物，然后放入箱式炉中300℃保温5h即可得到黑色的NiO粉末；

b)称取YSZ和NiO粉末，按质量比5:6放入球磨机中，再加入一定量的分散剂和乙醇，使之充分混合，得到YSZ浆料；

c)将YSZ浆料采用丝网印刷技术涂覆在导电塑料ITO-PET表面，厚度为2μm，放入烘干箱中烘干；

(3)有机薄膜蒸镀

a)把待蒸发的有机材料(Alq3、CuPc)放入相应的蒸发舟中，并用掩膜挡住；

b)把烘干后的导电塑料基片从预处理腔传送到有机腔，将基片置于有机腔内的样品托上，对准有机束源；

c)对有机腔进行抽真空，当真空达到所需数值时，调节蒸发炉温控仪，增加蒸发温度，对材料进行加热，条件合适后，依次蒸镀有机材料Alq3、CuPc，控制蒸镀速率与时间，使之厚度分别为3.5μm、2μm；

(4)丝网状金属阴极制备

当各种有机薄膜蒸镀完毕后，将基片取出，覆盖丝网状电极掩模版，随后将基片送入金属蒸镀室，抽真空使气压保持在1.5×10^-3，进行金属电极的蒸镀，调节电流，使Cr:Al的蒸镀比例为7:1，得到厚度为3μm的Cr:Al电极。