[发明专利]板级射频电流的时域测量、测量校准及校准验证系统

权利要求书

1.一种板级射频电流的时域测量校准系统，其特征在于，包括磁场探头、网络分析仪、负载、处理器；

所述磁场探头的输出端连接所述网络分析仪的端口一，微带线测试板的微带线的一端连接所述网络分析仪的端口二，所述微带线的另一端连接所述负载，所述处理器用于根据所述网络分析仪测量的数据得到校准因子，所述负载的阻值与所述微带线特征阻抗匹配。

2.根据权利要求1所述的板级射频电流的时域测量校准系统，其特征在于，所述处理器根据公式K(ω)＝S₁₂*Z₀得到校准因子K(ω)，其中S₁₂为所述网络分析仪上测量得到的传输系数，Z₀为所述微带线特征阻抗。

3.根据权利要求1或2所述的板级射频电流的时域测量校准系统，其特征在于，还包括夹具、支架和样品台，所述磁场探头固定在所述夹具上，所述夹具固定在所述支架上，所述微带线测试板固定在所述样品台上。

4.一种板级射频电流的时域测量校准验证系统，其特征在于，包括磁场探头、任意波形发生器、示波器、处理器；

所述磁场探头的输出端连接所述示波器的通道一，微带线测试板的微带线的一端连接所述示波器的通道二，所述微带线的另一端连接所述任意波形发生器的输出端，所述处理器用于根据所述示波器测量的数据验证校准因子的正确性，所述示波器的内部阻抗和所述任意波形发生器的内部阻抗与所述微带线特征阻抗匹配。

5.根据权利要求4所述的板级射频电流的时域测量校准验证系统，其特征在于，所述处理器根据所述示波器测量的数据得到：F_S(ω)＝FFT[V_S(t)]，F_SK(ω)＝F_S(ω)K(ω)，V_SK(t)＝IFFT[F_SK(ω)]，其中V_S(t)为所述示波器的通道二输出的数据，K(ω)为校准因子，FFT表示傅立叶变换，IFFT表示反傅立叶变换；

将得到的V_SK(t)与V_P(t)进行比较，根据比较结果验证所述校准因子K(ω)的正确性，其中V_P(t)为所述示波器的通道一输出的数据。

6.根据权利要求4或5所述的板级射频电流的时域测量校准验证系统，其特征在于，还包括夹具、支架和样品台，所述磁场探头固定在所述夹具上，所述夹具固定在所述支架上，所述微带线测试板固定在所述样品台上。

7.一种板级射频电流的时域测量系统，其特征在于，包括磁场探头、示波器、处理器；

所述磁场探头的输出端连接所述示波器的通道一，待测板级射频电流设置在微带线测试板的微带线处，所述处理器用于根据所述示波器测量的数据得到待测板级射频电流值，所述示波器的内部阻抗与所述微带线特征阻抗匹配。

8.根据权利要求7所述的板级射频电流的时域测量系统，其特征在于，所述处理器根据所述示波器测量的数据得到：F_Me(ω)＝FFT[V_Me(t)]，F_MeK(ω)＝F_Me(ω)·K(ω)，V_MeK(t)＝IFFT[F_MeK(ω)]，I(t)＝V_MeK(t)/R，其中V_Me(t)为所述示波器的通道一输出的数据，K(ω)为校准因子，I(t)为待测板级射频电流，R为所述示波器的内部阻抗，FFT表示傅立叶变换，IFFT表示反傅立叶变换。

9.根据权利要求7或8所述的板级射频电流的时域测量系统，其特征在于，还包括夹具、支架和样品台，所述磁场探头固定在所述夹具上，所述夹具固定在所述支架上，所述微带线测试板固定在所述样品台上。