[发明专利]一种集成压电式万向冲击传感器及其压电敏感元件的制造方法在审
申请号: | 201510868073.7 | 申请日: | 2015-12-02 |
公开(公告)号: | CN105352634A | 公开(公告)日: | 2016-02-24 |
发明(设计)人: | 赵宝林;刘显学;刘天国;陶逢刚 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
主分类号: | G01L1/16 | 分类号: | G01L1/16;G01L5/00 |
代理公司: | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人: | 蒋斯琪 |
地址: | 621900 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 集成 压电 万向 冲击 传感器 及其 敏感 元件 制造 方法 | ||
1.一种集成压电式万向冲击传感器,包括质量块(1)和压电敏感元件(2),其特征在于:所述压电敏感元件(2)上设置有Z轴轴向压力敏感输出电极对(21/22)、Y轴轴向压力敏感输出电极对(23/24)、X轴轴向压力敏感输出电极对(25/26)和质量块焊接电极(27);所述质量块(1)通过质量块焊接电极(27)焊接在压电敏感元件(2)顶部;
以压电敏感元件(2)轴向垂直方向定义为Z轴,与Z轴垂直的水平方向定义为X轴,与X轴及Z轴组成的平面垂直的方向定义为Y轴;
所述Z轴轴向压力敏感输出电极对(21/22)包括Z轴轴向压力敏感输出正电极(21)和Z轴轴向压力敏感输出负电极(22);所述Z轴轴向压力敏感输出电极对(21/22)是通过压电敏感电极组Ⅰ(21a、21b…21n/22a、22b…22n)以叠层平面结构交叉分布在Z轴轴向分别连接正、负电极而组成的Z轴轴向压力敏感输出电极对(21/22);
所述X轴轴向压力敏感输出电极对(25/26)包括X轴轴向压力敏感输出正电极(25)和X轴轴向压力敏感输出负电极(26);所述X轴轴向压力敏感输出电极对(25/26)是通过电极组Ⅱ(25a、25b…25n/26a、26b…26n)以金属通孔阵列结构交叉分布且沿X轴轴向连接形成的X轴轴向压力敏感输出电极对(25/26)。
2.如权利要求1所述的一种集成压电式万向冲击传感器,其特征在于:所述Y轴轴向压力敏感输出电极对(23/24)包括Y轴轴向压力敏感输出正电极(23)和Y轴轴向压力敏感输出负电极(24);所述Y轴轴向压力敏感输出电极对(23/24)是通过电极组Ⅲ(23a、23b…23n/24a、24b…24n)以金属通孔阵列结构交叉分布且沿Y轴轴向连接形成的Y轴轴向压力敏感输出电极对(23/24)。
3.如权利要求1或2所述的一种集成压电式万向冲击传感器,其特征在于:所述Z轴轴向压力敏感输出电极对(21/22)分布在压电敏感元件(2)的左右两端。
4.如权利要求1或2所述的一种集成压电式万向冲击传感器,其特征在于:所述X轴轴向压力敏感输出电极对(25/26)分布在压电敏感元件(2)前后两侧的右端。
5.如权利要求1或2所述的一种集成压电式万向冲击传感器,其特征在于:所述Y轴轴向压力敏感输出电极对(23/24)分布在压电敏感元件(2)前后两侧的左端。
6.如权利要求1所述的一种集成压电式万向冲击传感器,其特征在于:所述质量块焊接电极(27)分布在压电敏感元件(2)顶部四角。
7.如权利要求1或6所述的一种集成压电式万向冲击传感器,其特征在于:所述质量块(1)是由钨基高比重合金组成的密度为16.8
8.如权利要求7所述的一种集成压电式万向冲击传感器,其特征在于:所述质量块(1)通过回流焊工艺焊接贴装在压电敏感元件(2)的表面。
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