[发明专利]一种压电泵

权利要求书

1.一种压电泵，由压电振子(1)作为驱动原件，其特征在于还包括一体式腔阀部件(2)，其中：所述压电振子(1)安装在一体式腔阀部件(2)的一侧，在所述一体式腔阀部件(2)上与压电振子(1)对应位置布置一腔体沉槽(22)，压电振子1安装后与腔体沉槽(22)构成密封腔体即泵腔，腔体沉槽(22)底部布置一导流槽(23)，在所述导流槽(23)的底部布置有腔体的入口(24)和出口(25)；所述入口(24)为一内部带有入口沉孔(241)的柱体结构，布置于导流槽(23)的一端，所述入口(24)柱体结构底面(242)位于腔体沉槽(22)底面与导流槽(23)底面之间，在入口沉孔(241)底面与导流槽(23)底面之间布置有一入口阀开口(243)；所述出口(25)为一内部带有出口沉孔(251)的柱体结构，开口端布置于导流槽(23)的底面上，所述出口沉孔(251)底面位于泵体外侧表面(26)与出口柱体底面(252)之间，出口(25)柱体结构未开口一侧端部具有径向收缩区域(253)，收缩区域开始截面(254)位于出口沉孔(251)底面与泵体外侧底面(26)之间，在收缩区域开始截面(254)与出口沉孔(251)底面之间布置有出口阀开口(255)。

2.根据权利要求1所述的压电泵，其特征在于：所述压电振子可以是一片压电陶瓷薄片材料与弹性基板粘接形成的单晶片压电振子，也可以是两片压电陶瓷薄片材料与弹性基板粘接形成的双晶片压电振子。