[发明专利]用于薄膜太阳能电池的前电极及其制备方法和薄膜太阳能电池

权利要求书

1.一种用于薄膜太阳能电池的前电极，包括：

第一透明导电材料薄膜；

金属薄膜，设置在所述第一透明导电材料薄膜上；

第二透明导电材料薄膜，设置在所述金属薄膜上；和

电池金属栅线，设置在所述第二透明导电材料薄膜上；

其特征在于，所述金属薄膜和电池金属栅线具有相同的图案，且所述金属薄膜设置在所述电池金属栅线的正下方，所述电池金属栅线将所述金属薄膜遮挡住；

所述金属薄膜为Ag薄膜、Mo薄膜或Au薄膜。

2.根据权利要求1所述的前电极，其中，所述第一透明导电材料薄膜和所述第二透明导电材料薄膜的厚度相同为25-60nm。

3.根据权利要求2所述的前电极，其中，所述第一透明导电材料薄膜和所述第二透明导电材料薄膜各自为掺铝氧化锌薄膜、铟锡氧化物薄膜或掺镓氧化锌薄膜。

4.根据权利要求1所述的前电极，其中，所述金属薄膜的厚度为5-15nm。

5.根据权利要求1所述的前电极，其中，所述电池金属栅线为Ni-Al或者Ni-Ag，Ni的厚度为45-55nm，Al或Ag的厚度为0.5-5μm。

6.根据权利要求1所述的前电极，其中，所述电池金属栅线的宽度为50-300μm。

7.根据权利要求1所述的前电极，其中，所述电池金属栅极为多条，不同所述电池金属栅极之间的间距为1-2mm。

8.一种薄膜太阳能电池的前电极的制备方法，包括：

(1)形成第一透明导电材料薄膜；

(2)以掩膜板覆盖所述第一透明导电材料薄膜，通过所述掩膜板生长金属薄膜，然后撤去所述掩膜板；

(3)在所述金属薄膜上形成第二透明导电材料薄膜；

(4)以所述掩膜板覆盖所述第二透明导电材料薄膜，通过所述掩膜板生长与所述金属薄膜完全重合的电池金属栅线。

9.根据权利要求8所述的方法，其中，使用磁控溅射的方法形成所述第一透明导电材料薄膜和所述第二透明导电材料薄膜。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，所述第一透明导电材料薄膜和所述第二透明导电材料薄膜的厚度相同为25-60nm。

11.根据权利要求10所述的方法，其中，所述第一透明导电材料薄膜和所述第二透明导电材料薄膜各自为掺铝氧化锌薄膜、铟锡氧化物薄膜或掺镓氧化锌薄膜。

12.根据权利要求8所述的方法，其中，使用电子束蒸发的方法生长所述金属薄膜和所述电池金属栅线。

13.根据权利要求12所述的方法，其中，所述金属薄膜的厚度为5-15nm。

14.根据权利要求13所述的方法，其中，所述金属薄膜为Ag薄膜、Mo薄膜或Au薄膜。

15.根据权利要求8所述的方法，其中，

所述电池金属栅线为Ni-Al或者Ni-Ag，Ni的厚度为45-55nm，Al或Ag的厚度为0.5-5μm。

16.根据权利要求15所述的方法，其中，所述电池金属栅线的宽度为50-300μm；所述电池金属栅极为多条，不同所述电池金属栅极之间的间距为1-2mm。

17.一种薄膜太阳能电池，该薄膜太阳能电池包括的前电极为权利要求1-7中任意一项所述的用于薄膜太阳能电池的前电极。