[发明专利]一种隔膜泵

权利要求书

1.一种隔膜泵，包括：由基座(1)、压电悬臂梁(2)构成的动力端和液力端(3)，其中压电悬臂梁(2)一端与基座(1)连接，另一端与液力端(3)的第一侧腔体(31)连接，基座(1)上的支撑臂与液力端(3)的第二侧腔体(32)连接；液力端(3)由橡胶材料构成的片状第一侧腔体(31)和第二侧腔体(32)内侧表面相对布置，边缘密封形成泵腔，由压电悬臂梁(2)带动第一侧腔体(31)弯曲实现所述泵腔的体积发生改变，结合第二侧腔体(32)上安装的进口单向阀(34)和出口单向阀(35)，实现流体从入口管(36)流入、出口管(37)流出的运动；其特征在于：所述基座(1)上的各支撑臂和压电悬臂梁(2)中心线相互平行，所述动力端可以与液力端(3)组装与拆卸；所述压电悬臂梁(2)与所述支撑臂交错布置，即在第一侧腔体(31)和第二侧腔体(32)结合面上的投影无重合区域。

2.根据权利要求1所述的隔膜泵，其特征在于：所述支撑臂可以用支撑压电悬臂梁替换，此时连接在第一侧腔体(31)上的压电悬臂梁(2)与连接在第二侧腔体连接的支撑压电悬臂梁运动方向相反。

3.根据权利要求1所述的隔膜泵，其特征在于：所述压电悬臂梁(2)是一个单晶片压电悬臂梁或双晶片压电悬臂梁；所述单晶片压电悬臂梁是压电材料薄片(21)层合到弹性基板(22)上构成的；所述双晶片压电悬臂梁是将弹性基板(22)层合在两个极化方向相同的压电材料薄片(21)之间构成的。