[发明专利]衍射光学方法实现高斯光整形为超高长宽比的极细线型均匀光斑

权利要求书

1.一种利用平顶光衍射光学元件将高斯光整形为高长宽比的极细线型光斑的光路结构，其光路结构沿激光传播方向仅包括平顶光元件、焦距为F的球透镜、焦距为f的柱透镜；

第一步，根据激光源参数，目标线光斑参数，得到相应规格的平顶光元件、球透镜、柱透镜，并得到最佳工作距离L；

第二步：将激光光束扩束准直，满足平顶光元件对入射光的要求；

第三步：按照设计方案搭建光路，光路中沿激光出射方向依次有平顶光元件、球透镜、柱透镜；

第四步：在聚焦元件焦距F处，观察光斑分布，调试像面的距离直至得到需要的光斑，获得长宽比1000以上，线宽15μm以下的极细线型均匀光斑。

2.如权利要求1所述的光路结构，其特征是平顶光衍射光学元件材料为石英玻璃、普通玻璃、ZnSe。

3.如权利要求1所述的光路结构，其特征是激光光源参数包括波长、束腰直径、发散角。

4.如权利要求1所述的光路结构，其特征是目标光斑参数包括光斑长、宽、工作距离。

5.如权利要求1所述的光路结构，其特征是球透镜、柱透镜参数包括焦距以及相对位置。