[发明专利]太阳电池的制备方法

权利要求书

1.一种太阳电池的制备方法，其特征在于：所述太阳电池包括有上电极、外延片和下电极，所述上电极和下电极分别紧密贴合设置在所述外延片的上、下端面上，其制备方法包括如下步骤：

S1：光刻上电极

在所述外延片的入光面涂光刻胶，涂完胶后将电池烘烤，后采用光刻机对外延片涂胶面进行曝光、显影、冲洗和干燥；

S2：蒸镀上电极

将所述外延片光刻面朝向蒸发源装入镀膜机中，进行真空蒸镀，然后将蒸镀好上电极的外延片进行去胶处理；

S3：蒸镀下电极

在蒸镀完上电极的外延片背面设置掩模板，将外延片连同掩模板一起装入镀膜机中，掩模版面朝向蒸发源，进行真空蒸镀，得到带有若干网状金属条的外延片，所述金属条的宽度大于20μm；

所述掩模板包括板主体和通槽部分，所述通槽部分的形状和网状金属条相对应。

2.根据权利要求1所述的太阳电池的制备方法，其特征在于：在步骤S3之后还包括：

步骤S4：划片、蒸镀减反射膜

将蒸镀完下电极的外延片放入自动划片机中，上电极面朝上，将外延片划成各规格的电池，然后腐蚀CAP层，在电池入光面蒸镀TiO_x/Al₂O₃膜系。

3.根据权利要求1或2所述的太阳电池的制备方法，其特征在于：

所述S1步骤和S3步骤中，曝光、显影、冲洗和干燥过程为：在烘箱中烘烤，烘烤温度范围为80℃～90℃，烘烤时间为10min±3min；曝光时间为8s～10s；显影时间60s～90s，待显影完全后用清洗机冲洗6～8次，最后甩干机甩干或氮气吹干。

4.根据权利要求1或2所述的太阳电池的制备方法，其特征在于：在所述S2步骤中，进行去胶处理具体过程为：将外延片放入丙酮中浸泡不少于20min，取出后采用自动去胶机去胶，采用自动清洗机冲洗6～8次，再用甩干机甩干，完成去掉光刻胶的过程。

5.根据权利要求1或2所述的太阳电池的制备方法，其特征在于：所述S2步骤中，进行真空蒸镀的次序和顺序和各层金属厚度为：Au，50nm±7.5nm；Ge，100nm±15nm；Ag，5μm±750nm；Au，50nm±7.5nm。

6.根据权利要求1或2所述的太阳电池的制备方法，其特征在于：所述S3步骤中，进行真空蒸镀程序，蒸镀顺序和各层金属厚度为：Au，50nm±7.5nm；Ge，100nm±15nm；Ag，5μm±750nm。

7.根据权利要求1或2所述的太阳电池的制备方法，其特征在于：所述S3步骤中，得到网状金属条包括外轮廓宽条纹和内填充细条纹，所述内填充细条纹设置在所述外轮廓宽条纹围成的区域内。

8.根据权利要求7所述的太阳电池的制备方法，其特征在于：所述内填充细条纹部分设置在所述外轮廓宽条纹部分围成的区域内，所述内填充细条纹的宽度和所述外轮廓宽条纹的宽度比值小于等于1：(4-5)。

9.根据权利要求8所述的太阳电池的制备方法，其特征在于：所述外轮廓宽条纹有断开口；所述内填充细条纹中包括有带断开口的细条纹和连续的细条纹，所述带断开口的细条纹和连续的细条纹间隔交错设置；所述宽条纹和细条纹的断开口宽度均相同，且断开口的宽度小于所述外轮廓宽条纹的宽度。

10.根据权利要求8所述的太阳电池的制备方法，其特征在于：所述外轮廓宽条纹的位置与所述下电极主焊点、上电极主焊点位置相重叠；所述内填充细条纹位置与所述下电极的辅助电极和连接电极位置相重叠。