[发明专利]一种在线抛光微细工具的装置及方法

权利要求书

1.一种在线抛光微细工具的装置，其特征在于，包括微细电加工机床和在线抛光加工工作液槽，所述微细电加工机床包括机床本体、主轴系统、微三维运动工作台和微细电加工装置；所述工作液槽的底部设置有超声振动系统，所述工作液槽内相对设置有块电极和电泳辅助电极，所述工作液槽内分布有超微磨粒，所述装置还包括电泳直流电源，电泳电源的正负极与所述块电极和电泳辅助电极相对应连接。

2.根据权利要求1所述在线抛光微细工具的装置，其特征在于，所述微细电加工机床为微细电火花加工机床、微细超声加工机床或微细电化学加工机床。

3.根据权利要求1所述在线抛光微细工具的装置，其特征在于，所述超微磨粒的直径小于1μm。

4.一种使用如权利要求1所述装置在线抛光微细工具的方法，其特征在于，具体包括如下步骤：

使用微细电加工装置将毛坯工具加工到所需的微细尺寸得微细工具；将微细工具在线置于工作液槽中并靠近块电极，将块电极和电泳辅助电极与电泳电源的正负极连接；开启超声振动系统使超微磨粒在微细工具附近做高频机械振动，同时旋转微细工具，抛光预定时间后即得抛光好的微细工具。

5.根据权利要求4所述方法，其特征在于，采用块/线电极电火花磨削加工或电化学加工方法对毛坯工具进行加工。

6.根据权利要求4所述方法，其特征在于，所述工作液槽中超微磨粒的质量分数为0.1～1%。

7.根据权利要求4所述方法，其特征在于，所述工作液槽中超微磨粒的质量分数为0.8%。

8.根据权利要求4所述方法，其特征在于，所述超声振动系统的振动频率为20KHz～40KHz。

9.根据权利要求4所述方法，其特征在于，微细工具的转速为1000rpm～3000rpm。

10.根据权利要求4所述方法，其特征在于，抛光加工时间为10～25min。