[发明专利]一种抑制杂散模态及馈通的MEMS压电谐振器

权利要求书

1.一种抑制杂散模态及馈通的MEMS压电谐振器，包括差分输入结构、差分输出结构和偶数阶振动模态MEMS压电谐振器，其中，所述偶数阶振动模态MEMS压电谐振器包括基底、设置在基底上的支撑台、与支撑台连接的支撑梁以及通过支撑梁与支撑台连接为一体的振动块、所述振动块上设置压电薄膜；其特征在于，所述振动块工作于偶数阶侧向伸缩振动模态，振动模态阶数为2N、N≥2，相邻振动区域之间反相；所述压电薄膜上设置有依次分布于振动块各振动区域的2N个电极，将2N个电极均分为两组，每组电极中将同相电极互连、形成一对驱动电极及感应电极，并保证两个驱动电极之间以及两个感应电极之间均反相；所述支撑台上对应于两对驱动电极及感应电极设置四个外部互连金属区，分别通过位于支撑梁上的金属走线与驱动电极及感应电极对应相连，形成两个输入端及两个输出端；输入信号通过差分输入结构产生两路差分信号分别输入两个输入端，两个输出端输出两路信号经差分输出结构差分处理后输出。

2.按权利要求1所述抑制杂散模态及馈通的MEMS压电谐振器，其特征在于，所述基底与支撑台之间、支撑梁与金属走线之间、外部互连金属区与支撑台之间均设置有二氧化硅绝缘层。