[发明专利]一种三组光栅微结构共轴反射式实时监控激光蚀刻系统

权利要求书

1.一种三组光栅微结构共轴反射式实时监控激光蚀刻系统，包括激光器、针孔滤波器 和共轴反射式光学系统、实时监控系统，其特征在于，所述针孔滤波器的表面处理为黑体， 针孔滤波器上通过激光打出小孔，所述针孔滤波器放置在激光器的输出束腰位置；

所述共轴反射式光学系统包括共轴的反射式双曲面扩束镜、折叠反射镜、抛物面准直 反射镜和三个波面分割平面反射镜，所述折叠反射镜的中心开设有一个小孔，所述折叠反 射镜位于反射式双面扩束镜和抛物面准直反射镜之间；

三个波面分割平面反射镜呈中心对称均匀分布，且三个波面分割平面反射镜位于折叠 反射镜和抛物面准直反射镜之间，三个波面分割平面反射镜上分别设有方位调节机构，形 成的三支激光束两两干涉，产生三组干涉条纹光强分布，通过曝光同步制作三组光栅；

所述实时监控系统包括依次连接的物镜、光电探测器、成像电路和操控计算机，被监测 曝光面依次通过物镜的透射成像、光电探测器的光电信号转换、成像电路的信号处理和操 控计算机的实时显示，操控计算机对快门实时控制。

2.根据权利要求1所述的三组光栅微结构共轴反射式实时监控激光蚀刻系统，其特征 在于，所述共轴反射式光学系统的反射式准直镜为一个大口径共轴抛物面反射镜，通过三 个小口径抛物面反射镜空间组合替代，或通过大口径球面反射镜替代，或通过三个小口径 球面反射镜空间组合替代。

3.根据权利要求1所述的三组光栅微结构共轴反射式实时监控激光蚀刻系统，其特征 在于，所述激光器采用氦镉激光器、氪离子激光器或紫外激光器。

4.根据权利要求1所述的三组光栅微结构共轴反射式实时监控激光蚀刻系统，其特征 在于，所述反射式双曲面扩束镜由球面反射镜和透镜替代。

5.根据权利要求1所述的三组光栅微结构共轴反射式实时监控激光蚀刻系统，其特征 在于，所述光电探测器为光电像增强器、固体微光器、可见和近红外CCD或短波/中波/长波 红外探测器。

6.根据权利要求1所述的三组光栅微结构共轴反射式实时监控激光蚀刻系统，其特征 在于，还包括安装架、黑箱罩和光学隔振工作台，该系统通过安装架固定在黑箱罩内，黑箱 罩定在光学隔振工作台上。