[发明专利]表面检测装置及方法

权利要求书

1.表面检测装置，其特征在于，包括以下装置：

一载台，包含定位装置，通过所述定位装置固定待测物；

一光源系统，用于给所述待测物表面光源照明；

一检测相机，用于采集光源系统照明下待测物的图像；

一吹气单元，用于对待测物表面吹气去除异物；

一控制单元，用于处理检测相机采集到的图像，得到对应的表面缺陷及区 域。

2.根据权利要求1所述的表面检测装置，其特征在于：所述吹气单元为离 子发生器，其将含正负离子的气体以一定的压力吹到待测物表面，以达到吹掉 或移动表面可去除的异物的目的。

3.根据权利要求1所述的表面检测装置，其特征在于：所述定位装置通过 机构加持固定、定位孔固定、靠边固定以及真空吸附固定中的一种固定方式进 行定位。

4.根据权利要求1所述的一种表面检测装置，其特征在于：所述光源系统 包含一个或多个不同类型的光源。

5.根据权利要求1所述的一种表面检测装置，其特征在于：所述载台为固 定载台。

6.根据权利要求1所述的一种表面检测装置，其特征在于：所述检测相机 为线扫描相机。

7.外观检测方法，其特征在于，包含以下步骤：

S1：将被测物置于载台并定位；

S2：打开光源和相机，以一种或多种照明方式，拍摄多张图像，同时吹气 单元对被测物表面吹气；

S3：计算控制单元处理各照明方式下的图像，得到对应的表面缺陷及区域；

S4：计算控制单元对相同照明条件下的多张图像进行差异比较，得到差异 区域的信息；

S5：计算控制单元将差异区域内的缺陷去掉，剩下的缺陷就是真正的缺陷。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于：所述图像的差异是指对应位 置的图像间的灰阶或色彩差异。

9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于：所述图像的差异区域是指图 像差异区域的中心及其周边指定宽度范围以内。