[发明专利]加速度计表芯稳定化处理方法

说明书

技术领域

本发明涉及加速度计生产技术领域，尤其涉及一种加速度计表芯稳定化处理方法。

背景技术

表芯作为加速度计的重要组成部分，其结构的稳定性是影响加速度计偏值稳定性的重要因素。加速度计表芯由摆组件、上力矩器、下力矩器和预负载环四部分组成，通过施加一定的预负载将三个组件连接在一起，要求摆组件、上下力矩器同轴，在经历各种制造过程、力学环境试验、温度试验后预负载保持可靠、稳定，常采用焊接的方式进行连接，由于焊接温度高、梯度大，焊件受热不均匀，必然会产生焊接变形和残余应力，焊接应力随时间会发生释放，使得轴向预紧力发生变化，通过摆片外环直接影响挠性平桥稳定性，使得偏值长期稳定性发生变化。

在现有技术中，表芯稳定化处理通常在加速度计装配完成后，随加速度计进行稳定化处理，由于加速度计还涉及伺服电路、壳体等多种组成部分，其稳定化处理方法对表芯并不适合，急需表芯的稳定化处理方法以提高加速度计偏值性能。

发明内容

在下文中给出关于本发明的简要概述，以便提供关于本发明的某些方面的基本理解。应当理解，这个概述并不是关于本发明的穷举性概述。它并不是意图确定本发明的关键或重要部分，也不是意图限定本发明的范围。其目的仅仅是以简化的形式给出某些概念，以此作为稍后论述的更详细描述的前序。

为解决上述问题，本发明提出一种加速度计表芯稳定化处理方法，包括：

将加速度计表芯安装至稳定化处理装置中；

将加速度计表芯以预设升温速率在预设温度范围内进行温度循环处理；

将加速度计表芯在预设温度下保温第一预设时长；

振动完成后检测加速度计表芯是否正常；

如果是，以预设频率、预设振动量级以及第二预设时长对稳定化处理装置进行随机振动。

本发明提供的加速度计表芯稳定化处理方法，能够有效提高加速度计表芯结构的稳定性，降低环境载荷对加速度计偏值稳定性的影响。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明提供的加速度计表芯稳定化处理方法一种实施例的流程图。

图2为本发明提供的加速度计表芯稳定化处理方法中稳定化处理装置的侧视剖面图。

图3为本发明提供的加速度计表芯稳定化处理方法中稳定化处理装置的俯视图。

具体实施方式

下面参照附图来说明本发明的实施例。在本发明的一个附图或一种实施方式中描述的元素和特征可以与一个或者更多个其他附图或实施方式中示出的元素和特征相结合。应当注意，为了清楚目的，附图和说明中省略了与本发明无关的、本领域普通技术人员已知的部件和处理的表示和描述。

参考图1，本实施例提供一种加速度计表芯稳定化处理方法，包括：

步骤S101，将加速度计表芯安装至稳定化处理装置中；

步骤S102，将加速度计表芯以预设升温速率在预设温度范围内进行温度循环处理；

步骤S103，将加速度计表芯在预设温度下保温第一预设时长。

步骤S104，温度稳定化处理完成后检测加速度计表芯是否正常；

步骤S105，如果是，以预设频率、预设振动量级以及第二预设时长对稳定化处理装置进行随机振动。

具体地，加速度计激励环采用低膨胀合金加工而成，摆片采用石英材料加工，要求上力矩器、下力矩器和摆组件同轴，通过施加一定的预负载将三者连接在一起，常采用焊接的方式进行连接，焊接后由于焊接温度高、梯度大，焊件受热不均匀，必然会产生焊接应力和装配应力，上述应力受环境载荷的影响会发生释放，导致预负载环变形，使得轴向预紧力稳定性发生变化，因此，速焊接应力和装配应力是导致表芯稳定性的关键因素。

进一步地，参考图2，稳定化处理装置包括底座1和上盖2，底座1和上盖2之间设置至少一个安装槽7，在本实施例中，在底座1和上盖2两侧分别设置6个安装槽7，安装槽7的孔径与加速度计表芯6的外径相适配，并通过预留的调整间隙4保证安装槽7内表面与加速度计表芯6外圆紧密贴合，用于实现加速度计表芯的安装固定，底座1和上盖2通过螺钉3进行固定，实现加速度计表芯的可靠夹紧。