[发明专利]基板传送装置及基板传送方法

权利要求书

1.一种基板传送装置，其特征在于，包括托盘(1)、位于所述托盘(1)下方分别设于数个轴(21)上的数个传送齿轮(2)、及分别位于所述数个传送齿轮(2)下方的数个升降杆(3)；

所述托盘(1)上设有凹槽(11)，所述凹槽(11)底部设有数个通孔(12)，所述托盘(1)底部设有锯齿(13)；所述数个升降杆(3)可穿过所述数个通孔(12)上升与下降；所述数个传送齿轮(2)与所述锯齿(13)相啮合；从而通过所述数个轴(21)带动所述数个传送齿轮(2)转动，并通过所述数个传送齿轮(2)与所述锯齿(13)之间的啮合实现对所述托盘(1)的传送。

2.如权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述托盘(1)的材质为不锈钢。

3.如权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述凹槽(11)的内部空间呈长方体。

4.如权利要求3所述的基板传送装置，其特征在于，所述凹槽(11)底面的长度为1800mm，宽度为1500mm。

5.如权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述凹槽(11)底部的数个通孔(12)的直径大于所述数个升降杆(3)的外径。

6.一种基板传送方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1、提供制程设备、与所述制程设备配合使用的基板传送装置(10)、及需要经由所述基板传送装置(10)传送并在制程设备中完成相应制程操作的基板(4)；

所述基板传送装置(10)包括托盘(1)、位于所述托盘(1)下方分别设于数个轴(21)上的数个传送齿轮(2)、及分别位于所述数个传送齿轮(2)下方的数个升降杆(3)；

所述托盘(1)上设有凹槽(11)，所述凹槽(11)底部设有数个通孔(12)，所述托盘(1)底部设有锯齿(13)；所述数个升降杆(3)可穿过所述数个通孔(12)上升与下降；所述数个传送齿轮(2)与所述锯齿(13)相啮合；从而通过所述数个轴(21)带动所述数个传送齿轮(2)转动，并通过所述数个传送齿轮(2)与所述锯齿(13)之间的啮合实现对所述托盘(1)的传送；

步骤2、将所述托盘(1)置于制程设备的入口处，此时，所述数个升降杆(3)在所述托盘(1)的数个通孔(12)中处于升起状态；

步骤3、通过机械手将所述基板(4)放置到所述数个升降杆(3)上；

步骤4、控制所述数个升降杆(3)在所述托盘(1)的数个通孔(12)中下降，使所述基板(4)容置于所述托盘(1)的凹槽(11)中；

步骤5、控制所述数个轴(21)带动所述数个传送齿轮(2)转动，通过所述数个传送齿轮(2)与所述托盘(1)的锯齿(13)之间的啮合，带动所述托盘(1)移动至目标位置，所述基板(4)在目标位置处进行相应制程操作；

步骤6、待所述基板(4)完成相应制程操作后，通过齿轮传动将所述托盘(1)移动至制程设备的出口处，控制所述数个升降杆(3)在所述托盘(1)的数个通孔(12)中上升，从而将所述基板(4)从所述托盘(1)的凹槽(11)中顶起，通过机械手将所述基板(4)取出，之后所述托盘(1)运回到制程设备的入口处，等待下一基板的传送。

7.如权利要求6所述的基板传送方法，其特征在于，所述托盘(1)的材质为不锈钢。

8.如权利要求6所述的基板传送方法，其特征在于，所述凹槽(11)的内部空间呈长方体。

9.如权利要求8所述的基板传送方法，其特征在于，所述凹槽(11)底面的长度为1800mm，宽度为1500mm。

10.如权利要求6所述的基板传送方法，其特征在于，所述凹槽(11)底部的数个通孔(12)的直径大于所述数个升降杆(3)的外径。