[发明专利]一种三维网状超疏水表面的制备方法

权利要求书

1.一种三维网状超疏水表面的制备方法，其特征在于，包括以下两个步骤：

(1)清洗基底表面

用清洗剂对基底表面进行超声清洗后，用氮气吹干；

所述的基底包括石英、玻璃、金属、合金、单晶硅片、多晶硅片、云母片、 单层薄膜材料修饰的氧化硅、多层薄膜材料修饰的氧化硅、聚二甲基硅氧烷、 聚氨酯、聚氯乙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚苯乙烯、聚乙烯、聚丙烯或重 氮光刻胶聚合物；

(2)制备超疏水表面

在去离子水中加入刻蚀剂，配制成0.25～2mol/L的刻蚀液；在刻蚀液中加 入表面改性物质配制成混合溶液；在20～50℃条件下将基底放置于混合溶液中反 应20～80min，将基底取出制得具有超疏水表面的基底；

所述的刻蚀剂为酸性刻蚀剂或碱性刻蚀剂；

所述的表面改性物质包括脂肪酸、脂肪酸衍生物、有机硫醇、有机膦酸、 有机硅烷或聚四氟乙烯；

所述的刻蚀剂与表面改性物质的质量比为1～1.25:1。

2.如权利要求1所述的一种三维网状超疏水表面的制备方法，其特征在于，所述 的酸性刻蚀剂包括硫酸、稀硝酸、盐酸、磷酸、氢溴酸、氢碘酸、氢氟酸或含 碳类的有机酸；所述的碱性刻蚀剂包括氢氧化钠、氢氧化钾、氢氧化钙或有机 生物碱。

3.如权利要求1或2所述的一种三维网状超疏水表面的制备方法，其特征在于， 所述的清洗剂包括氯仿、丙酮、无水乙醇或去离子水；所述的超声功率为 50～150W，每次5～15min。

4.如权利要求1或2所述的一种三维网状超疏水表面的制备方法，其特征在于， 所述的金属包括铁、镁、铝、铜、钛、锂、镍、锌或锡；所述的合金包括不锈 钢、碳钢、锂-镁合金、铝合金或锌合金。

5.如权利要求3所述的一种三维网状超疏水表面的制备方法，其特征在于，所述 的金属包括铁、镁、铝、铜、钛、锂、镍、锌或锡；所述的合金包括不锈钢、 碳钢、锂-镁合金、铝合金或锌合金。

6.如权利要求1或2或5所述的一种三维网状超疏水表面的制备方法，其特征在 于，所述的有机硅烷包括烷基氯硅烷、烷基烷氧基硅烷或烷基氨基硅烷。

7.如权利要求3所述的一种三维网状超疏水表面的制备方法，其特征在于，所述 的有机硅烷包括烷基氯硅烷、烷基烷氧基硅烷或烷基氨基硅烷。

8.如权利要求4所述的一种三维网状超疏水表面的制备方法，其特征在于，所述 的有机硅烷包括烷基氯硅烷、烷基烷氧基硅烷或烷基氨基硅烷。