[发明专利]一种基于A相二氧化钒纳米线的温度控制开关及其制作方法

权利要求书

1.一种温度控制开关，包括温度传感材料，其特征在于，所述温度传感材料为A相二氧化钒纳米线。

2.如权利要求1所述的温度控制开关，其特征在于所述A相二氧化钒纳米线的宽度为大于220nm。

3.如权利要求1所述的温度控制开关，其特征在于所述A相二氧化钒纳米线与金属电极欧姆连接，设置于基底上，所述基底为镀有SiO₂层的硅片；所述金属电极为Au，Ni用于作为金属电极与基底的粘结剂。

4.权利要求3所述温度控制开关的制作方法，其特征在于包括如下步骤：取A相二氧化钒纳米线放入烧杯中，往烧杯中倒入异丙醇，将混合液摇匀后放入超声机中超声；超声完毕后将溶液滴在镀有SiO2层的硅片上面，将硅片放到匀胶机的吸盘上，接下来用甩膜的方法将纳米线均匀甩在硅片上边，纳米线在被均匀分散到硅片上边之后，将其放到加热平台上烘烤；烘烤完毕后，将其放在匀胶机的吸盘上边，旋涂光刻胶，并在光刻机下曝光；曝光后经过显影，将硅片进行金属电极的蒸镀，金属电极选用Ni/Au组合，Ni作为和基底的粘结剂，并保证纳米线和金属电极的接触为欧姆接触；蒸镀电极完成后，用去胶液去胶，将去胶液和硅片放在373K的烘箱中加热，去胶过程中不可以对硅片超声。

5.如权利要求4所述的温度控制开关的制作方法，其特征在于，所述甩膜的方法的方法为：初始转速800r/min，时间9s，低转速下将溶液甩开；最终转速2500r/min，时间40s，高转速下将纳米线甩匀。