[发明专利]一种在钛基底上制备锐钛矿型二氧化钛微纳米结构的方法有效
申请号: | 201510886434.0 | 申请日: | 2015-12-06 |
公开(公告)号: | CN105271393B | 公开(公告)日: | 2018-08-21 |
发明(设计)人: | 黄婷;卢金龙;张欣;肖荣诗 | 申请(专利权)人: | 北京工业大学 |
主分类号: | C01G23/047 | 分类号: | C01G23/047;C01G23/07;B82Y40/00 |
代理公司: | 北京睿派知识产权代理事务所(普通合伙) 11597 | 代理人: | 刘锋 |
地址: | 100124 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基底 制备 锐钛矿型二 氧化 纳米 结构 方法 | ||
1.一种在钛基底上制备低反射率锐钛矿型二氧化钛微纳米结构的方法,其特征是:
1)用2000目的砂纸对99.9wt.%的钛片打磨后,超声清洗10分钟并干燥;
2)用超快激光对步骤1)得到的钛片表面进行刻蚀,在表面形成10-20μm的孔洞结构;加工参数为平均功率20W、单脉冲能量200μJ、重复频率200KHz、聚焦光斑160μm、扫描间距50μm、扫描速度500mm/s、刻蚀次数为25次;超快激光的脉宽小于10皮秒、超快激光刻蚀的能量密度≥0.3J/cm2;
3)将步骤2)刻蚀后得到的钛片用10mL浓度30wt.%的H2O2在80℃下氧化1h,氧化后的微米结构的特征未被破坏,并在微结构上形成纳米线结构;氧化后的微纳米结构成分为钛和锐钛矿型二氧化钛;
4)将步骤3)氧化得到的钛片在空气中450℃退火1h,退火处理生成了结晶性更好的锐钛矿型二氧化钛。
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