[发明专利]电磁波功率感应装置及包括该电磁波功率感应装置的系统

权利要求书

1.一种电磁波功率感应装置，该电磁波功率测量装置包括：

波导件，电磁波功率入射至所述波导件；

电磁波吸收件，该电磁波吸收件设置在所述波导件的末端，并且用于吸收入射至所述电磁波吸收件的前表面的电磁波功率；

平行板件，所述平行板件设置在所述电磁波吸收件的后方，并且布置在所述波导件的中心线上方和下方；

波导引导件，所述波导引导件用于固定所述波导件和所述电磁波吸收件，其中，所述平行板件位于所述波导引导件中；

光电元件，该光电元件构造为用于感应所述电磁波功率；

光电元件固定件，所述光电元件耦合至所述光电元件固定件；以及

移动引导件，该移动引导件与所述光电元件固定件耦合，并且用于控制所述光电元件进入所述波导引导件内的移动，以感应所述电磁波功率。

2.根据权利要求1所述的电磁波功率感应装置，其中，所述移动引导件控制所述光电元件，使得所述光电元件位于所述平行板件之间以测量基准信号，并且控制所述光电元件，使得所述光电元件位于在所述电磁波吸收件前方的所述波导件中以测量电磁波功率感应信号。

3.根据权利要求1所述的电磁波功率感应装置，其中，所述平行板件接收DC电压和低频电压中的一者作为基准电压。

4.根据权利要求3所述的电磁波功率感应装置，

其中，所述平行板件包括正极板和负极板；

其中，所述正极板和所述负极板互相平行地布置在所述波导引导件上。

5.根据权利要求4所述的电磁波功率感应装置，其中，所述波导引导件中形成有用于插入所述正极板的正极板插入槽，和用于插入所述负极板的负极板插入槽。

6.根据权利要求4所述的电磁波功率感应装置，其中，所述波导引导件具有形成在该波导引导件中的孔，以使得所述光电元件相对于所述波导件的中心线穿过所述孔移动。

7.根据权利要求4所述的电磁波功率感应装置，其中，所述光电元件固定件具有能够在所述移动引导件上旋转的结构，以转动所述光电元件。

8.根据权利要求1所述的电磁波功率感应装置，其中，所述电磁波吸收件的前表面的一部分形成为倾斜表面，所述倾斜表面关于所述波导件的中心线呈预定倾角。

9.根据权利要求8所述的电磁波功率感应装置，其中，所述电磁波吸收件具有形成在该电磁波吸收件中的孔，以允许所述光电元件的光电晶体在所述波导件上向前移动。

10.根据权利要求1所述的电磁波功率感应装置，其中，所述光电元件固定件具有在所述移动引导件上转动的结构，以从所述光电元件上获得最优响应特性。

11.一种电磁波功率感应系统，该系统包括：

电磁波功率感应装置，该电磁波功率感应装置构造为根据通过光电元件感应的电磁波功率信号的结果输出基准信号和感应信号；和

测量装置，该测量装置构造为接收所述基准信号和所述感应信号，以测量电磁波功率，

其中，所述电磁波功率感应装置包括：

波导件，电磁波功率入射至所述波导件；

电磁波吸收件，该电磁波吸收件设置在所述波导件的末端，并且用于吸收入射至所述电磁波吸收件的前表面的所述电磁波功率；

平行板件，所述平行板件设置在所述电磁波吸收件的后方，并且布置在所述波导件的中心线上方和下方；

波导引导件，所述波导引导件用于固定所述波导件和所述电磁波吸收件，其中，所述平行板件位于所述波导引导件中；

光电元件，该光电元件构造为用于感应所述电磁波功率；

光电元件固定件，所述光电元件耦合至所述光电元件固定件；

移动引导件，该移动引导件与所述光电元件固定件耦合，并且用于控制所述光电元件进入所述波导引导件中的移动，以感应所述电磁波功率。