[发明专利]材料加工中的激光聚焦控制方法

权利要求书

1.一种材料加工中的激光聚焦控制方法，包括：

将一衍射光学元件与聚焦光学元件组合在一起，所述组合能够增加材料加工的有效焦深，而不牺牲所要求的焦点光斑尺寸及光束束腰；

使激光光束从所述衍射光学元件入射，经所述聚焦光学元件聚焦后，照射在加工件上；

使所述激光光束在所述加工件上形成具有有效焦深的光斑或聚焦面。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述衍射光学元件为径向多焦距衍射光学元件，所述方法包括：

将所述径向多焦距衍射光学元件与所述聚焦光学元件组合在一起；

使激光光束从所述径向多焦距衍射光学元件入射，经所述聚焦光学元件聚焦后，照射在加工件上；

使所述激光光束在所述加工件上形成径向多焦距聚焦光斑。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，进一步将一横向多焦距衍射光学元件与所述径向多焦距衍射光学元件组合在一起，使所述激光光束在所述加工件上形成横向与径向多焦距光斑阵列。

4.如权利要求2所述的方法，其特征在于，进一步将一横向聚焦延长衍射光学元件与所述径向多焦距衍射光学元件组合在一起，使所述激光光束在所述加工件上形成横向聚焦延长与径向多焦距光斑阵列。

5.如权利要求2所述的方法，其特征在于，进一步将一径向色散光学元件与所述径向多焦距衍射光学元件组合在一起，使所述激光光束在所述加工件上形成径向聚焦延长光斑阵列。

6.如权利要求4所述的方法，其特征在于，进一步将一径向色散光学元件与所述径向多焦距衍射光学元件和所述横向聚焦延长衍射光学元件组合在一起，使所述激光光束在所述加工件上形成横向聚焦延长与径向多焦距色散聚焦光斑阵列。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述衍射光学元件为径向聚焦延长衍射光学元件，所述方法包括：

将所述径向聚焦延长衍射光学元件与所述聚焦光学元件组合在一起；

使激光光束从所述径向聚焦延长衍射光学元件入射，经所述聚焦光学元件聚焦后，照射在加工件上；

使所述激光光束在所述加工件上形成径向延长聚焦光斑。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，进一步将一横向多焦距衍射光学元件与所述径向聚焦延长衍射光学元件组合在一起，使所述激光光束在所述加工件上形成径向聚焦延长与横向多焦距光斑阵列。

9.如权利要求7所述的方法，其特征在于，进一步将一横向聚焦延长衍射光学元件与所述径向聚焦延长衍射光学元件组合在一起，使所述激光光束在所述加工件上形成横向聚焦延长与径向聚焦延长聚焦面。

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，进一步将一径向色散光学元件与所述横向聚焦延长衍射光学元件和所述径向聚焦延长衍射光学元件组合在一起，使所述激光光束在所述加工件上形成横径向聚焦延长色散聚焦面。

11.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述衍射光学元件为横向多焦距衍射光学元件，所述方法包括：

将所述横向多焦距衍射光学元件与所述聚焦光学元件组合在一起；

使激光光束从所述横向多焦距衍射光学元件入射，经所述聚焦光学元件聚焦后，照射在加工件上；

使所述激光光束在所述加工件上形成横向多聚焦光斑。

12.如权利要求11所述的方法，其特征在于，进一步将一径向多焦距衍射光学元件和一径向色散光学元件与所述横向多焦距衍射光学元件组合在一起，使所述激光光束在所述加工件上形成横向多焦距径向多焦距色散聚焦阵列。

13.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述衍射光学元件为横向聚焦延长衍射光学元件，所述方法包括：

将所述横向聚焦延长衍射光学元件与所述聚焦光学元件组合在一起；

使激光光束从所述横向聚焦延长衍射光学元件入射，经所述聚焦光学元 件聚焦后，照射在加工件上；

使所述激光光束在所述加工件上形成横向延长聚焦光斑。