[发明专利]折射率分布测量方法和测量装置以及光学元件制造方法

权利要求书

1.一种折射率分布测量方法，其特征在于包括：

测量传播通过测验单元的光的波前，测验单元是通过用形状和折射率已知的第一基准 透镜、形状和折射率已知的第二基准透镜、以及介质夹着测验透镜形成的；和

通过使用第一基准透镜的形状和折射率、第二基准透镜的形状和折射率、以及测验单 元的测量的波前，计算所述测验透镜的折射率分布。

2.根据权利要求1所述的折射率分布测量方法，其中，第一基准透镜和第二基准透镜由 相同的材料形成，并且，在特定波长处，第一基准透镜的折射率和第二基准透镜的折射率与 所述测验透镜的折射率相等。

3.根据权利要求2所述的折射率分布测量方法，其中，

在多个波长处测量测验单元的传播的波前，

从多个波长处的测验单元的传播的波前确定所述特定波长，并且，

通过使用所述特定波长处的测量的波前，计算所述测验透镜的折射率分布。

4.根据权利要求1所述的折射率分布测量方法，其中，

在测验单元相对于测验光倾斜的多个配置下测量测验单元的传播的波前，以及

通过使用所述多个配置下的测验单元的测量的波前，计算所述测验透镜的光轴方向的 折射率分布。

5.根据权利要求1所述的折射率分布测量方法，其中，

测量第一波长处的测验单元的传播的波前以及与第一波长不同的第二波长处的测验 单元的传播的波前，以及，

使用第一基准透镜的形状和折射率、第二基准透镜的形状和折射率、第一波长处的测 验单元的测量的波前、以及第二波长处的测验单元的测量的波前，通过去除所述测验透镜 的形状分量，计算所述测验透镜的折射率分布。

6.根据权利要求1所述的折射率分布测量方法，

其中，在测量步骤中，

测量通过用第一基准透镜、第二基准透镜、以及具有第一折射率的第一介质夹着所述 测验透镜形成的第一测验透镜的传播的波前，

测量通过用第一基准透镜、第二基准透镜、以及具有与第一折射率不同的第二折射率 的第二介质夹着所述测验透镜形成的第二测验透镜的传播的波前，并且，

其中，在计算步骤中，

使用第一基准透镜的形状和折射率、第二基准透镜的形状和折射率、第一测验单元的 测量的波前、以及第二测验单元的测量的波前，通过去除所述测验透镜的形状分量，计算所 述测验透镜的折射率分布。

7.根据权利要求1所述的折射率分布测量方法，还包括：

测量传播通过基准测验单元的光的波前，基准测验单元是通过用第一基准透镜和第二 基准透镜夹着具有特定的折射率分布的基准测验透镜形成的，

其中，在计算步骤中，

通过使用第一基准透镜的形状和折射率、第二基准透镜的形状和折射率、测验单元的 测量的波前、以及基准测验单元的测量的波前，计算所述测验透镜的折射率分布。

8.一种光学元件制造方法，其特征在于包括以下步骤：

模制光学元件；和

评价模制的光学元件的光学特性，

其中，评价光学元件的光学特性的步骤包含：测量传播通过通过用形状和折射率已知 的第一基准透镜、形状和折射率已知的第二基准透镜、以及介质夹着光学元件形成的测验 单元的光的波前的步骤，以及，通过使用第一基准透镜的形状和折射率、第二基准透镜的形 状和折射率、以及测验单元的测量的波前来计算所述光学元件的折射率分布的步骤。

9.一种折射率分布测量装置，其特征在于包括：

被配置为测量传播通过测验单元的光的波前的测量单元，测验单元是通过用形状和折 射率已知的第一基准透镜、形状和折射率已知的第二基准透镜、以及介质夹着测验透镜形 成的；和

被配置为通过使用第一基准透镜的形状和折射率、第二基准透镜的形状和折射率、以 及测验单元的测量的波前来计算所述测验透镜的折射率分布的计算单元。