[发明专利]一种涌动式电极制作系统有效
申请号: | 201510895108.6 | 申请日: | 2015-12-08 |
公开(公告)号: | CN105386054B | 公开(公告)日: | 2018-10-09 |
发明(设计)人: | 赵宗轩;陶少勋 | 申请(专利权)人: | 赵宗轩 |
主分类号: | C23F1/08 | 分类号: | C23F1/08 |
代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人: | 孙伟峰 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 涌动 电极 制作 系统 | ||
本发明公开了一种涌动式电极制作系统,包括反应系统和循环系统,所述反应系统包括外槽、设于所述外槽内的内槽和涌动装置,所述循环系统包括穿过所述外槽后连通所述内槽底部的进液管、连通外槽底部的出液管以及连接在所述进液管和所述出液管之间的动力装置;所述涌动装置设于所述内槽内,包括用于在所述内槽内的液体没过电极后自所述出液管一侧朝所述进液管一侧传送电极的搬运装置。本发明的电极制作系统并不使用传统的喷头对电极表面喷射化学液,而是将液体浸过电极产品并利用不断循环涌动的液体对电极表面进行比较平和的处理,可以实现显影、蚀刻和脱膜各阶段的制作过程,可以用于极细的铜网格线条的制作而不易损坏,很好的提高了产品的良率。
技术领域
本发明涉及电极制备技术领域,尤其涉及一种涌动式电极制作系统。
背景技术
作为目前最为主流的触摸屏制作工艺,黄光制程被普遍应用在触摸屏厂商的生产过程中。黄光制程主要采用喷淋化学液的工作方式完成曝光、显影、蚀刻和脱膜等工序,而在整个工艺过程中,各段的喷头必须要保持畅通,不能有堵塞现象,同时,各段喷射溶液、喷淋水和喷射压力需要精确控制。液体喷淋时,从喷头喷出的液体产生一定的冲击力,直接作用于触摸屏的电极表面,在生产电极尤其是极细网格线条(宽度为1-10μm)的电极结构时对显影、蚀刻、脱膜等工序的产品非常容易造成损坏,降低了产品良率。
发明内容
鉴于现有技术存在的不足,本发明提供了一种可有效避免电极的网格结构损坏的涌动式电极制作系统,可用于电极线路的制备。
为了实现上述的目的,本发明采用了如下的技术方案:
一种涌动式电极制作系统,包括反应系统和循环系统,所述反应系统包括外槽、设于所述外槽内的内槽和涌动装置,所述循环系统包括穿过所述外槽后连通所述内槽底部的进液管、连通所述外槽底部的出液管以及连接在所述进液管和所述出液管之间的动力装置;所述涌动装置设于所述内槽内,包括用于在所述内槽内的液体没过电极后自所述出液管一侧朝所述进液管一侧传送电极的搬运装置。
进一步地,所述涌动装置还包括连接所述进液管的输送管,所述输送管竖直设于所述内槽内靠近所述进液管侧且顶端高于所述搬运装置。
进一步地,所述涌动装置还包括连接所述输送管并朝所述出液管侧延伸的支管。
进一步地,所述支管上连接有至少一根分支的动力管。
进一步地,所述支管的管壁上开设有多个通孔。
进一步地,所述支管为多根,间隔地连接在所述输送管的侧壁的多个部位。
进一步地,所述的涌动式电极制作系统还包括废液排放系统,所述废液排放系统连接在所述外槽底部。
进一步地,所述内槽与所述外槽的底面间隔设置,所述外槽的底面和所述内槽底部同时连接所述废液排放系统。
进一步地,所述循环系统还包括连接在所述出液管和所述动力装置之间的循环箱。
进一步地,所述循环箱的底部与所述废液排放系统连接。
本发明的电极制作系统并不使用传统的喷头对电极表面喷射化学液,而是将液体浸过电极产品并利用不断循环涌动的液体对电极表面进行比较平和的处理,可以实现显影、蚀刻和脱膜各阶段的制作过程,可以用于极细的铜网格线条的制作而不易损坏,很好的提高了产品的良率。
附图说明
图1为本发明实施例的涌动式电极制作系统的结构示意图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本发明进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
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