[发明专利]一种刀具表面氮铝钛涂层制备方法在审
申请号: | 201510896024.4 | 申请日: | 2015-12-07 |
公开(公告)号: | CN105385992A | 公开(公告)日: | 2016-03-09 |
发明(设计)人: | 霍红英;邹敏 | 申请(专利权)人: | 攀枝花学院 |
主分类号: | C23C14/06 | 分类号: | C23C14/06;C23C14/32 |
代理公司: | 成都虹桥专利事务所(普通合伙) 51124 | 代理人: | 罗贵飞 |
地址: | 617000 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 刀具 表面 氮铝钛 涂层 制备 方法 | ||
1.一种刀具表面氮铝钛涂层制备方法,包括如下步骤:
a、刀具的清洁和干燥;
b、刀具放入离子镀设备真空室的工件架上,将真空室抽到一定的真空度;
c、通入氩气,氩离子轰击刀具;
d、蒸发金属钛,制备氮化钛过渡层;
e、蒸发金属铝和钛,制备氮铝钛涂层;
其特征在于,在步骤c和d之间,还包括利用金属离子轰击刀具、在刀具表面制造微观凹陷的步骤。
2.根据权利要求1所述的刀具表面氮铝钛涂层制备方法,其特征在于:所述金属离子为钛离子和/或铝离子。
3.根据权利要求1或2所述的刀具表面氮铝钛涂层制备方法,其特征在于:所述金属离子是通过离化蒸发源中的涂层金属材料获得。
4.根据权利要求1或2所述的刀具表面氮铝钛涂层制备方法,其特征在于:所述金属离子来源于离子发生器。
5.根据权利要求1至4任一项所述的刀具表面氮铝钛涂层制备方法,其特征在于:金属离子对刀具表面进行轰击是刀具接电源负极、蒸发源接电源正极实现的。
6.根据权利要求5所述的刀具表面氮铝钛涂层制备方法,其特征在于:所述电源的电压为400~800伏。
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