[发明专利]一种常压辉光等离子体装置

权利要求书

1.一种常压辉光等离子体装置，其特征在于，包括：

中频等离子体腔室和射频等离子体腔室；其中，

进入所述等离子体装置的气体首先流入所述中频等离子体腔室，并在所述中频等离子 体腔室中生成等离子体后进入所述射频离子体腔室。

2.如权利要求1所述的等离子体装置，其特征在于，其中，

所述中频等离子体腔室包括中频电源、中频电极和中频多孔地电极；并且

在所述中频电源的激励下，进入所述中频等离子体腔室的所述气体在所述中频等离子 体腔室中产生等离子体，所述等离子体穿过所述中频地电极进入所述射频等离子体腔室。

3.如权利要求2所述的等离子体装置，其特征在于，其中，

所述射频等离子体腔室包括射频电源、射频电极和射频多孔地电极；其中，

进入所述射频等离子体腔室的等离子体首先经过射频多孔电极，并在射频电源的激励 下，进一步产生等离子并辉光放电。

4.如权利要求3所述的等离子体装置，其特征在于，进一步包括：

进气系统和排气系统；其中

所述进气系统设置于所述中频等离子体腔室的一端，并且被构造为以预定速度将气体 排入所述中频等离子体腔室；

所述射频等离子体腔室的一端与所述中频等离子体腔室的另一端固定联接；并且

所述排气系统设置于所述射频等离子体腔室的另一端，并且被构造成排出所述等离子 体装置内的残余气体。

5.如权利要求4所述的等离子体装置，其特征在于，在所述中频等离子体腔室中，所 述中频电极设置于所述中频等离子体腔室内部，所述中频电源与所述中频电极电气连接， 并且所述中频多孔地电极设置于所述中频等离子体腔室的所述另一端。

6.如权利要求5所述的等离子体装置，其特征在于，在所述射频等离子体腔室中，所 述射频电极设置于所述中频等离子体腔室内部，所述射频电源与所述射频电极电气连接， 并且所述射频多孔地电极设置于所述射频等离子体腔室的所述一端。

7.如权利要求6所述的等离子体装置，其特征在于，所述中频多孔地电极与所述射频 多孔地电极为同一个多孔地电极，所述一个多孔地电极固定于所述中频等离子体腔室与所 述射频等离子体腔室之间，并且所述中频等离子体腔室与所述射频等离子体腔室共用所述 一个多孔地电极。

8.如权利要求7所述的等离子体装置，其特征在于，所述中频等离子体腔室与所述射 频等离子体腔室为外径相同的圆筒状结构。

9.如权利要求8所述的等离子体装置，其特征在于，所述进气系统包括设置于所述中 频等离子体腔室的一端的端面上的两个进气口，以及从每个进气口延伸进入所述中频等离 子体腔室的进气管路；其中，所述两个进气口以相对于所述中频等离子体腔室的一端的所 述端面的中心对称的方式布置。