[发明专利]一种键合丝在审
申请号: | 201510899336.0 | 申请日: | 2015-12-09 |
公开(公告)号: | CN105428335A | 公开(公告)日: | 2016-03-23 |
发明(设计)人: | 梁忠;谢允昊;闫茹;向翠华;周晓光;苏宏福 | 申请(专利权)人: | 北京达博有色金属焊料有限责任公司 |
主分类号: | H01L23/48 | 分类号: | H01L23/48;H01L21/60;C22C5/06;C25D5/10;C25D3/50 |
代理公司: | 中国有色金属工业专利中心 11028 | 代理人: | 孙久姗;李子健 |
地址: | 100012*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 键合丝 | ||
1.一种键合丝,其特征在于,该键合丝由键合丝基体和包覆在键合丝基体外的三层镀层构成;所述键合丝基体为金银钯合金,所述三层镀层由内向外依次为金镀层、钯镀层、铂镀层,并且所述铂镀层在三层镀层中的厚度最厚。
2.根据权利要求1所述的键合丝,其特征在于,所述金银钯合金的化学成分为:金5wt%—20wt%,银60wt%—94wt%,钯1wt%—20wt%。
3.根据权利要求2所述的键合丝,其特征在于,所述金镀层的质量为所述键合丝基体质量的1wt%—5wt%,所述钯镀层的质量为所述键合丝基体和所述金镀层质量之和的1wt%—5wt%,所述铂镀层的质量为所述键合丝基体、所述金镀层和所述钯镀层质量之和的4wt%—10wt%。
4.一种如权利要求3所述的键合丝的制备方法,其特征在于,所述方法的步骤为:
(1)将金、银以及钯按质量比(5—20):(60—94):(1—20)进行真空熔炼后,拉铸成直径为10mm的合金丝棒,经大、中拉再到微拉至直径为40—80μm,得到键合丝基体;
(2)在键合丝基体上镀金,其中金镀层的质量为键合丝基体质量的1wt%—5wt%;
(3)对步骤(2)的合金丝进行超声清洗,在金镀层上镀钯,其中钯镀层的质量为键合丝基体和金镀层质量之和的1wt%—5wt%;
(4)对步骤(3)的合金丝进行超声清洗,在钯镀层上镀铂,其中铂镀层的质量为键合丝基体、金镀层和钯镀层质量之和的4wt%—10wt%;
(5)将步骤(4)的合金丝微拉至所需线径,得到键合丝。
5.根据权利要求4所述的键合丝的制备方法,其特征在于,镀金、镀钯和镀铂的方式为无氰电镀。
6.根据权利要求4的键合丝的制备方法,其特征在于,所述金的纯度为99.999%以上,所述钯的纯度为99.99%以上,所述铂的纯度为99.99%以上。
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