[发明专利]一种带有全方位反射器的倒装多结太阳电池及其制备方法

权利要求书

1.一种带有全方位反射器的倒装多结太阳电池，包括：砷化镓衬底(140)；太阳电池(130)；全方位反射器；金属键合层；Si导电衬底(100)；砷化镓衬底腐蚀后制作的金属栅线(151)和金属背电极(152)，其特征在于，位于太阳电池(130)外延层之上的全方位反射器包括介质层(122)和金属反射层(121)，介质层(122)的厚度在50-500nm，采用折射率低的SiOx、SiNx或TiO₂中的一种或几种组合，金属反射层(121)的厚度100-500nm，采用反射率高的Ag、Al或Au。

2.根据权利要求1所述的带有全方位反射器的倒装多结太阳电池，其特征在于，所述介质层(122)的厚度200nm，金属反射层(121)的厚度100nm。

3.根据权利要求1所述的带全方位反射器的倒装多结太阳电池，其特征在于，所述介质层(122)为一连续层，金属反射层(121)为金属离散体，其嵌在介质层并贯穿介质层。

4.根据权利要求3所述的带有全方位反射器的倒装多结太阳电池，其特征在于，在所述介质层(122)设置有导电孔，导电孔呈周期性分布，导电孔直径为5-15um，间距10-50um，导电孔为圆柱形或者长方体形，金属反射层嵌入导电孔，增加反射器反光的比例。

5.根据权利要求1所述的带有全方位反射器的倒装多结太阳电池，其特征在于，所述金属反射层为一连续层，介质层为离散体，其嵌在金属反射层并贯穿金属反射层。

6.根据权利要求1所述的带有全方位反射器的倒装多结太阳电池，其特征在于，在介质层(122)和金属反射层(121-1)之间加入一层金属氧化层(121-2)，金属氧化层材料为氧化铟锡或氧化铟锌，厚度50埃-100埃。

7.根据权利要求6所述的带有全方位反射器的倒装多结太阳电池，其特征在于，介质层折射率大于金属氧化层的折射率，同时金属氧化层反射率小于金属反射层的反射率。

8.根据权利要求1所述的带有全方位反射器的倒装多结太阳电池，其特征在于，电池外延层的外侧的介质层依次采用折射率不同的第一介质层、第二介质层，电池外延层、第一介质层、第二介质层三者折射率呈递减趋势。

9.如权利要求1所述的带有全方位反射器的倒装多结太阳电池的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)提供一砷化镓生长衬底，用于太阳电池外延生长；

(2)在所述的衬底上，金属有机化学气相沉积技术生长倒装多结太阳电池外延层；

(3)在太阳电池外延层上生长介质，用光刻、湿蚀刻的方法在介质层上开一些周期性导电孔，并在介质层上生长金属反射层；

(4)生长完金属反射层的电池外延片和Si基板生长金属键合层，并高温键合；

(5)对上述键合片，砷化镓衬底进行腐蚀，转换成Si导电衬底；

(6)去除砷化镓衬底后，在太阳电池外延层进行栅线制作，在Si导电衬底进行背电极生长；

(7)在栅线表面，生长减反膜增加光的入射。