[发明专利]用于借助于激光辐射去蚀脆硬材料的方法和装置

权利要求书

1.一种用于借助于激光辐射去蚀脆硬材料的方法，包括下列步骤：

将激光辐射入射到脆硬材料上以形成非圆形光斑，其中从激光与脆硬材料的作用面的表面法向上来看，非圆形光斑的长度方向与激光辐射去蚀脆硬材料的去蚀方向重合；以及

沿着去蚀方向去蚀脆硬材料。

2.根据权利要求1所述的方法，其中通过多轴联动来实现非圆形光斑的长度方向与去蚀方向的重合。

3.根据权利要求1所述的方法，其中非圆形光斑为下列各项之一：椭圆形光斑、矩形光斑、以及条形光斑。

4.根据权利要求1或3所述的方法，其中非圆形光斑的长宽比大于或等于1.5。

5.根据权利要求1所述的方法，其中非圆形光斑通过光路元件的非对称对准而产生。

6.根据权利要求1所述的方法，其中非圆形光斑借助于波束成形器件产生。

7.根据权利要求7所述的方法，其中波束成形器件通过同步旋转来使非圆形光斑的长度方向与去蚀路径实时地保持重合。

8.根据权利要求1所述的方法，其中非圆形光斑通过组合和排列多个相同或不同的光斑而产生。

9.根据权利要求1所述的方法，其中通过调整长宽比来调整在去蚀脆硬材料时在脆硬材料中产生裂纹的几率以及所产生的裂纹的空间分布。

10.一种用于借助于激光辐射去蚀脆硬材料的装置，包括：

激光器，其被配置为发射激光辐射；

光学器件，其被配置为对激光辐射进行引导和调制，并使得激光辐射入射到脆硬材料上形成的光斑为非圆形；以及

移动装置，其被配置为移动激光器、光学器件和/或脆硬材料，使得从激光与脆硬材料的作用面的表面法向上来看，非圆形光斑的长度方向与激光辐射去蚀脆硬材料的去蚀方向重合。

11.根据权利要求10所述的装置，其中非圆形光斑的长宽比大于或等于1.5。

12.根据权利要求10所述的装置，其中光学器件包括下列各项之一：波束成形器件、非对称地对准的光路器件、以及用于组合多个激光器的激光辐射以形成非圆形光斑的装置。

13.根据权利要求10所述的装置，其中移动装置包括下列各项之一：多轴联动装置、以及机器手臂。

14.根据权利要求10所述的装置，其中光学器件包括波束成形器，并且所述波束成形器件通过同步旋转来使非圆形光斑的长度方向与去蚀路径实时地保持重合。