[发明专利]一种复合抛光路径有效
申请号: | 201510900722.7 | 申请日: | 2015-12-09 |
公开(公告)号: | CN105550421B | 公开(公告)日: | 2019-01-25 |
发明(设计)人: | 刘健;王绍治;隋永新;杨怀江 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G06F17/50 | 分类号: | G06F17/50 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙) 22210 | 代理人: | 朱红玲 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 复合 抛光 路径 | ||
1.复合抛光路径,该复合抛光路径由m个离散点构成,即{Pi(x,y),i=1…m},其特征是,所述m个离散点的计算方法是以极坐标路径为基础并附加法向偏移项获得,复合抛光路径的解析关系为:
式中,ρ(a,θi)为基准项的极坐标路径,θi为Pi点对应的极角,a为控制极坐标路径间距的路径距离控制系数;ζ(b,θi)为偏移项的振幅控制函数,b为基准振幅,λ(κ,θi)为偏移项的形状函数,κ为用于控制形状函数在圆周范围内出现的波数;
所述极坐标路径为阿基米德螺旋线,即
所述振幅控制函数为分段函数,即
b为常数,θ0为常数取为2π。
2.根据权利要求1所述的复合抛光路径,其特征在于,所述θi=θi-1+Δθ,θi-1为Pi-1点对应的极角,Δθ为角度步长,所述Δθ用于控制离散点的疏密。
3.根据权利要求1或2所述的复合抛光路径,其特征在于,b的取值范围为:b≤0.5a。
4.根据权利要求3所述的复合抛光路径,其特征在于,所述的附加法项偏移项的振幅可控。
5.根据权利要求4所述的复合抛光路径,其特征在于,所述附加法向偏移项为周期函数,所述周期函数的振动周期T=2π/κ。
6.根据权利要求5所述的复合抛光路径,其特征在于,所述的附加法项偏移项振幅为0时,复合抛光路径退化为极坐标路径。
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