[发明专利]一种带有温度自补偿功能的光纤F-P腔加速度传感器在审
申请号: | 201510901192.8 | 申请日: | 2015-12-08 |
公开(公告)号: | CN105548611A | 公开(公告)日: | 2016-05-04 |
发明(设计)人: | 张毅翔;刘春红 | 申请(专利权)人: | 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 |
主分类号: | G01P15/03 | 分类号: | G01P15/03 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100095*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 带有 温度 补偿 功能 光纤 加速度 传感器 | ||
1.一种带有温度自补偿功能的光纤F-P腔加速度传感器,其特征在于:包 括弹性元件(101)、基座(102)、准直管(103)以及光纤(104);弹性元件(101) 为中心带有凸台的结构,凸出位置命名为质量块(106),平台位置命名为弹性 梁(105);基座(102)为凹槽结构;准直管(103)为中空圆柱体,用于固定 光纤(104);弹性元件(101)、基座(102)与准直管(103)依次固定连接; 光纤(104)通过准直管(103)后与基座(102)固定连接;光纤(104)上刻 有光栅(107),需保证刻有光栅(107)的光纤(104)位于与准直管(103)接 触的部分。
2.如权利要求1所述的一种带有温度自补偿功能的光纤F-P腔加速度传感 器,其特征在于:所述凹槽底面中心点与弹性元件(101)底面中心点对应,两 中心点连成一条直线,该直线即为加速度传感器的中心线,加速度传感器沿中 心线左右对称。
3.如权利要求1或2所述的一种带有温度自补偿功能的光纤F-P腔加速度 传感器,其特征在于:需保证所述凹槽底面有部分为平面,且该平面需将凹槽 底面中心点包含其中;该平面与弹性元件(101)底面相互平行。
4.如权利要求1所述的一种带有温度自补偿功能的光纤F-P腔加速度传感 器,其特征在于:所述弹性元件(101)的材料为硅片;所述基座(102)的材 料为二氧化硅;所述准直管(103)的材料为二氧化硅或石英。
5.如权利要求1或4所述的一种带有温度自补偿功能的光纤F-P腔加速度 传感器,其特征在于:所述的弹性元件(101)与基座(102)采用MEMS工艺 连接;所述的准直管(103)与基座(102)采用激光焊接工艺或胶粘技术连接; 所述的光纤(104)与准直管(103)采用激光焊接技术或胶粘技术连接。
6.如权利要求1所述的一种带有温度自补偿功能的光纤F-P腔加速度传感 器,其特征在于:所述的弹性元件(101)为薄膜结构,形状为圆形或者矩形; 所述的基座(102)为矩形或圆形;所述凹槽为矩形、圆弧形、圆柱形或其他轴 对称的形状。
7.如权利要求1或2或4或6所述的一种带有温度自补偿功能的光纤F-P 腔加速度传感器,其特征在于:传感器受到外界的振动时,光纤F-P腔加速度 传感器探头受到惯性力的作用,导致F-P腔的腔长发生变化,由于准直管(103) 与光纤(104)材料相同,光栅(107)仅感受温度的变化,通过光纤(104)进 行信号的传输,通过对两光谱的采集和分析,利用光栅中心波长的偏移量,分 离出温度对光纤F-P腔的影响,实现对光纤F-P腔加速度传感器的温度补偿,得 出加速度值。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所,未经中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201510901192.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。