[发明专利]一种带有温度自补偿功能的光纤F-P腔加速度传感器

权利要求书

1.一种带有温度自补偿功能的光纤F-P腔加速度传感器，其特征在于：包 括弹性元件(101)、基座(102)、准直管(103)以及光纤(104)；弹性元件(101) 为中心带有凸台的结构，凸出位置命名为质量块(106)，平台位置命名为弹性 梁(105)；基座(102)为凹槽结构；准直管(103)为中空圆柱体，用于固定 光纤(104)；弹性元件(101)、基座(102)与准直管(103)依次固定连接； 光纤(104)通过准直管(103)后与基座(102)固定连接；光纤(104)上刻 有光栅(107)，需保证刻有光栅(107)的光纤(104)位于与准直管(103)接 触的部分。

2.如权利要求1所述的一种带有温度自补偿功能的光纤F-P腔加速度传感 器，其特征在于：所述凹槽底面中心点与弹性元件(101)底面中心点对应，两 中心点连成一条直线，该直线即为加速度传感器的中心线，加速度传感器沿中 心线左右对称。

3.如权利要求1或2所述的一种带有温度自补偿功能的光纤F-P腔加速度 传感器，其特征在于：需保证所述凹槽底面有部分为平面，且该平面需将凹槽 底面中心点包含其中；该平面与弹性元件(101)底面相互平行。

4.如权利要求1所述的一种带有温度自补偿功能的光纤F-P腔加速度传感 器，其特征在于：所述弹性元件(101)的材料为硅片；所述基座(102)的材 料为二氧化硅；所述准直管(103)的材料为二氧化硅或石英。

5.如权利要求1或4所述的一种带有温度自补偿功能的光纤F-P腔加速度 传感器，其特征在于：所述的弹性元件(101)与基座(102)采用MEMS工艺 连接；所述的准直管(103)与基座(102)采用激光焊接工艺或胶粘技术连接； 所述的光纤(104)与准直管(103)采用激光焊接技术或胶粘技术连接。

6.如权利要求1所述的一种带有温度自补偿功能的光纤F-P腔加速度传感 器，其特征在于：所述的弹性元件(101)为薄膜结构，形状为圆形或者矩形； 所述的基座(102)为矩形或圆形；所述凹槽为矩形、圆弧形、圆柱形或其他轴 对称的形状。

7.如权利要求1或2或4或6所述的一种带有温度自补偿功能的光纤F-P 腔加速度传感器，其特征在于：传感器受到外界的振动时，光纤F-P腔加速度 传感器探头受到惯性力的作用，导致F-P腔的腔长发生变化，由于准直管(103) 与光纤(104)材料相同，光栅(107)仅感受温度的变化，通过光纤(104)进 行信号的传输，通过对两光谱的采集和分析，利用光栅中心波长的偏移量，分 离出温度对光纤F-P腔的影响，实现对光纤F-P腔加速度传感器的温度补偿，得 出加速度值。