[发明专利]一种高效太阳电池的制备方法

权利要求书

1.一种高效太阳电池的制备方法，其特征在于，包括步骤：

将原料硅片依次经过制绒、扩散、抛光、制作选择性发射极、镀减反射膜和丝网印刷、烧结，得到高效太阳电池；

所述的扩散包括：在三氯氧磷气氛中对制绒后的硅片进行单面低方阻扩散，扩散后方阻控制在50Ω/□-55Ω/□；

所述的抛光包括：硅片的扩散面朝上放入60℃-80℃碱溶液中进行背面抛光，清洗，烘干；

抛光过程中，所述的碱溶液是质量百分浓度为10％-35％的KOH水溶液或者质量百分浓度为10％-35％的NaOH水溶液；所述背面抛光的时间为5.5min-8.0min；抛光过程中，所述硅片以1.5m/min-2.2m/min的速率通过60℃-80℃碱溶液；

所述的制作选择性发射极包括：a.在抛光后的硅片的电极栅线区域印刷油墨作为掩模，烘干；

b.刻蚀：将硅片的扩散面朝上，在扩散面铺满水膜，放入第一HNO₃/HF混合水溶液中对硅片背面进行第二次背面抛光，清洗；再将硅片放入第二HNO₃/HF混合水溶液中对无油墨保护的发射极区域进行正刻蚀，形成浅扩散层，清洗；

所述的第一HNO₃/HF混合水溶液中HNO₃的质量百分浓度为30％-42％，HF的质量百分浓度为2％-10％；所述的第二HNO₃/HF混合水溶液中HNO₃的质量百分浓度为10％-26％，HF的质量百分浓度为2％-12％；

c.去油墨处理：将硅片依次经过20℃-30℃粗碱溶液和20℃-30℃精碱溶液将油墨洗掉，形成清晰的蜡印区域，清洗后将硅片放入HF水溶液中去除硅片上存在的氧化层，清洗，烘干，硅片上形成选择性发射极。

2.根据权利要求1所述的高效太阳电池的制备方法，其特征在于，步骤b中，所述第二次背面抛光的时间为1.36min-2.00min；所述正刻蚀的时间为0.55min-0.8min。

3.根据权利要求1所述的高效太阳电池的制备方法，其特征在于，步骤b中，所述的第一HNO₃/HF混合水溶液的温度为10℃±2℃，所述的第二HNO₃/HF混合水溶液的温度为10℃±2℃。

4.根据权利要求1所述的高效太阳电池的制备方法，其特征在于，步骤b中，所述硅片以1.5m/min-2.2m/min的速率通过第一HNO₃/HF混合水溶液和第二HNO₃/HF混合水溶液。

5.根据权利要求1所述的高效太阳电池的制备方法，其特征在于，步骤c中，所述的粗碱溶液是质量百分浓度为7％-14％的KOH水溶液或者质量百分浓度为7％-14％的NaOH水溶液；

所述的精碱溶液是质量百分浓度为4％-12％的KOH水溶液或者质量百分浓度为4％-12％的NaOH水溶液。

6.根据权利要求1所述的高效太阳电池的制备方法，其特征在于，步骤c中，所述的HF水溶液的质量百分浓度为4％-12％。