[发明专利]一种用于控制平面元件膜厚均匀性的镀膜工装在审
| 申请号： | 201510902154.4 | 申请日： | 2015-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN105420681A | 公开（公告）日： | 2016-03-23 |
| 发明（设计）人： | 张立超;才玺坤;贺健康;时光;武潇野;梅林;隋永新;杨怀江 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 李外 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 控制 平面 元件 均匀 镀膜 工装 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于控制平面元件膜厚均匀性的镀膜工装，其特征在于，包括：附带主齿轮(2)的主转动轴(1)、附带行星盘上齿轮(4-1)和行星盘下齿轮(4-2)的行星盘转动轴(3)、附带卫星盘齿轮(6)的卫星盘转动轴(5)、随卫星盘转动轴(5)自转的元件承载架(4)，其中元件承载架(4)用于承载元件；
所述的行星盘上齿轮(4-1)与主齿轮(2)咬合，行星盘下齿轮(4-1)与卫星盘齿轮(6)咬合。
2.根据权利要求1所述的一种用于控制平面元件膜厚均匀性的镀膜工装，其特征在于，所述的主齿轮(2)与行星盘上齿轮(4-1)的齿轮比、行星盘下齿轮(4-2)与卫星盘齿轮(6)的齿轮比设为不能除尽的循环小数。
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