[发明专利]一种多次给直拉单晶炉加料的装置在审
申请号: | 201510904679.1 | 申请日: | 2015-12-09 |
公开(公告)号: | CN105332047A | 公开(公告)日: | 2016-02-17 |
发明(设计)人: | 王林;高润飞;宋都明;陈建梅;张寿星;张颂越;王淼 | 申请(专利权)人: | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人: | 胡京生 |
地址: | 300384 天津市西青*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多次 直拉单晶炉 加料 装置 | ||
1.一种多次给直拉单晶炉加料的装置,包括固定樑(1)、提臂(2)、抓手(3)、抓手固定轴(4)、销子(5)、钢缆(6),其特征在于:固定樑(1)为L型樑抓手,上面有数个通孔(1-1),(3)内表面为平面并作粗糙处理,提臂(2)也为L型臂,在靠近长臂端头有数个通孔(2-1),在靠近折弯处有通孔(2-2),固定樑(1)的短臂端内侧固定一个抓手固定轴(4)可一定角度的旋转,抓手固定轴(4)端头固定抓手(3),固定樑(1)的长臂端有沿长臂方向的矩形开口(1-2),在开口(1-2)两侧壁有数个销孔(1-1),孔径与提臂(2)的通孔(2-1)孔径相同,提臂(2)插于固定樑(1)的矩形开口(1-1)内并用销子(5)插于销孔(1-1)和通孔(2-1)内,使提臂(2)固定于固定樑(1)上,且提臂(2)可在销子(5)上转动,提臂(2)相对于固定樑(1)的短臂端内侧固定一个抓手固定轴(4)可一定角度旋转,抓手固定轴(4)端头固定抓手(3),钢缆(6)一端固定于直拉单晶炉上方提升机构、另一端固定于提臂(2)的无抓手(3)端头通孔(2-2)上。
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