[发明专利]小范围激光平动扫描镜装置

权利要求书

1.一种小范围激光平动扫描镜装置，其特征在于：包括外壳壳体、X轴平移台、Y轴平移台、Z轴平移台和聚焦镜，所述Z轴平移台上下移动安装在所述外壳壳体上，所述X、Y、Z轴平移台成串联连接，所述X轴平移台前后移动安装在所述Z轴平移台上，所述Y轴平移台左右移动安装在所述X轴平移台上，所述X、Y、Z轴平移台上分别固定安装有X、Y、Z反射镜，所述X、Y、Z反射镜分别与X、Y、Z轴呈45度角，所述X反射镜与Z反射镜相对设置且位于同一水平线上，所述Y反射镜与X反射镜相对设置且位于同一水平线上，所述聚焦镜水平安装在所述Y轴平移台上，所述聚焦镜位于所述Y反射镜的正下方。

2.根据权利要求1所述的小范围激光平动扫描镜装置，其特征在于：所述外壳壳体的左右两侧内壁上分别沿Z轴方向固定一Z轴滑轨，所述Z轴滑轨上上下移动安装一Z轴轨道滑块。

3.根据权利要求2所述的小范围激光平动扫描镜装置，其特征在于：所述Z轴平移台包括Z轴滑块、Z活动轴、Z电机、联轴器、横梁、动力连接板、Z基板和Z反射镜支架，所述Z轴滑块固定在所述外壳壳体的内壁上端部分，所述Z活动轴上下移动定位在所述Z轴滑块中，所述Z电机安装在所述Z轴滑块上并控制所述Z活动轴的运动，所述联轴器安装在所述Z活动轴的下端，所述横梁固定在所述联轴器的下端，所述横梁与Y轴平行，所述动力连接板为两个且分别竖直固定在所述横梁的两端，所述动力连接板与所述Z轴轨道滑块固定连接，所述Z基板固定在两个动力连接板的底部之间，所述Z反射镜支架竖直固定在所述Z基板的左前角上，所述Z反射镜固定在所述Z反射镜支架上。

4.根据权利要求3所述的小范围激光平动扫描镜装置，其特征在于：所述Z基板上的中间呈镂空状，所述Z基板镂空处的左右两侧分别沿X轴方向固定一X轴滑轨，所述X轴滑轨上前后移动安装一X轴轨道滑块。

5.根据权利要求4所述的小范围激光平动扫描镜装置，其特征在于：所述X轴平移台包括X固定块、X轴滑块、X活动轴、X电机、X基板和X反射镜支架，所述X固定块为两个且分别竖直固定在所述Z基板右侧的前后两端上，所述X活动轴水平固定在两个X固定块之间，所述X轴滑块前后移动套设在所述X活动轴上，所述X电机安装在所述X轴滑块上并控制所述X轴滑块的运动，所述X基板固定在所述X轴滑块的底部且同时固定在所述X轴轨道滑块的上面并沿X轴滑轨前后移动，所述X反射镜支架竖直固定在所述X基板左侧的中间部分，所述X反射镜固定在所述X反射镜支架上。

6.根据权利要求5所述的小范围激光平动扫描镜装置，其特征在于：所述X基板上的中间呈镂空状，所述X基板镂空处的前后两侧分别沿Y轴方向固定一Y轴滑轨，所述Y轴滑轨上前后移动安装一Y轴轨道滑块。

7.根据权利要求6所述的小范围激光平动扫描镜装置，其特征在于：所述Y轴平移台包括Y固定块、Y轴滑块、Y活动轴、Y电机、Y基板和Y反射镜支架，所述Y固定块为两个且分别竖直固定在所述X基板后端的左右两侧上，所述Y活动轴水平固定在两个Y固定块之间，所述Y轴滑块前后移动套设在所述Y活动轴上，所述Y电机安装在所述Y轴滑块上并控制所述Y轴滑块的运动，所述Y基板固定在所述Y轴滑块的底部且同时固定在所述Y轴轨道滑块的上面并沿Y轴滑轨前后移动，所述Y反射镜支架竖直固定在所述Y基板的中间部分，所述Y反射镜固定在所述Y反射镜支架上。

8.根据权利要求7所述的小范围激光平动扫描镜装置，其特征在于：所述X基板的尺寸小于所述Z基板的尺寸，所述Y基板的尺寸小于所述X基板的尺寸，所述Y基板的中间设有一圆形通孔，所述聚焦镜固定在所述圆形通孔中，所述X、Y、Z电机均为直线电机。

9.根据权利要求1-8中任意一项所述的小范围激光平动扫描镜装置，其特征在于：还包括X、Y、Z轴光栅尺，所述Z轴光栅尺固定在所述动力连接板的上端侧壁上并与所述Z轴平行设置，所述X轴光栅尺固定在所述X基板的左端侧壁上并与所述X轴平行，所述Y轴光栅尺固定在所述Y基板的前端侧壁上并与所述Y轴平行。

10.根据权利要求9所述的小范围激光平动扫描镜装置，其特征在于：还包括做回位零点的X、Y、Z轴光电开关，所述Z轴光电开关固定在所述外壳壳体内部的右侧壁上，所述X轴光电开关固定在所述Z基板的左前角上，所述Y轴光电开关固定在所述X基板的右侧中间，所述外壳壳体的上端面上设有一激光入射口，所述激光入射口位于所述Z反射镜的正上方。