[发明专利]散热结构及其制作方法

权利要求书

1.一种散热结构的制作方法，其步骤如下：

提供一第一铜箔层、一第二铜箔层及一第三铜箔层并将其分别制作形成一第一毛细层、一第二毛细层及一支撑层；该第一毛细层包括多个第一毛细沟槽，该第二毛细层包括多个第二毛细沟槽，该支撑层包括多个贯穿该支撑层的支撑层沟槽及多个支撑部，多个该支撑部将多个该支撑层沟槽相互间隔开来；该第一毛细层及该第二毛细层均通过一胶层分别粘着在该支撑层的四周；该胶层具有Z方向导通特性且电性连接该第一毛细层、该第二毛细层及该支撑层；

将该第一毛细层及该第二毛细层分别压合在该支撑层的相背两表面上，并使得该第一毛细沟槽与该第二毛细沟槽相对，每个该支撑层沟槽与至少一个该第一毛细沟槽及至少一个该第二毛细沟槽相对并相通而形成一中空腔室；及

将冷却介质材料注入到该中空腔室内。

2.如权利要求1所述的散热结构的制作方法，其特征在于，在将该第一毛细层及该第二毛细层分别压合在该支撑层的相背两表面上的步骤之前，还包括步骤：分别对该第一毛细沟槽、该第二毛细沟槽及该支撑层沟槽进行棕化处理。

3.如权利要求1所述的散热结构的制作方法，其特征在于，该第一毛细沟槽、该第二毛细沟槽及该支撑层沟槽的制作方法为蚀刻、激光烧蚀方式中的一种。

4.一种采用上述权利要求1-3中任一项所述的散热结构的制作方法制成的散热结构，包括一第一毛细层、一支撑层及一第二毛细层，该第一毛细层及该第二毛细层分别形成在该支撑层的相背两表面上，该第一毛细层包括多个第一毛细沟槽，该第二毛细层包括多个第二毛细沟槽，该支撑层包括多个贯穿该支撑层的支撑层沟槽及多个支撑部，多个该支撑部将多个该支撑层沟槽相互间隔开来；该第一毛细层及该第二毛细层均通过一胶层分别粘着在该支撑层的四周；该胶层具有Z方向导通特性且电性连接该第一毛细层、该第二毛细层及该支撑层，多个该第一毛细沟槽及多个该第二毛细沟槽相对，每个该支撑层沟槽与至少一个该第一毛细沟槽及至少一个该第二毛细沟槽相对并相通，从而构成一中空腔室，该中空腔室内形成有冷却介质。

5.如权利要求4所述的散热结构，其特征在于，d1＝d2＝10-60um，D1＝D2＝10-60um，其中，d1、d2、分别为该第一毛细沟槽及该第二毛细沟槽的最大宽度，D1、D2分别为每两个该第一毛细沟槽之间的最小间隔及每两个该第二毛细沟槽之间的最小间隔。

6.如权利要求4所述的散热结构，其特征在于，该支撑层沟槽的密度小于该第一毛细沟槽及该第二毛细沟槽的密度。

7.如权利要求4所述的散热结构，其特征在于，部分该第一毛细沟槽及部分该第二毛细沟槽分布在与该支撑部相对应的位置并连通相邻的该中空腔室。

8.如权利要求4所述的散热结构，其特征在于，该第一毛细沟槽、该第二毛细沟槽和该支撑层沟槽对应并共同组成一个封闭的该中空腔室。