[发明专利]一种金属催化金刚线切割多晶硅片的湿法制绒工艺在审
申请号: | 201510911553.7 | 申请日: | 2015-12-11 |
公开(公告)号: | CN105543979A | 公开(公告)日: | 2016-05-04 |
发明(设计)人: | 孙海平;黄石明;奚斌;王明明;刘仁中;张斌 | 申请(专利权)人: | 奥特斯维能源(太仓)有限公司 |
主分类号: | C30B33/10 | 分类号: | C30B33/10;C30B29/06 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 柏尚春 |
地址: | 215434 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 金属 催化 金刚 切割 多晶 硅片 湿法 工艺 | ||
1.一种金属催化金刚线切割多晶硅片的湿法制绒工艺,其特征在于:包括步骤(a)制绒 液配置;(b)制绒:将硅片放置于制绒液中;(c)碱洗;(d)酸洗;(e)水洗;
所述步骤(b)中所述的制绒为将硅片放入含Cu2+离子的HF-H2O2或HNO3-HF混合溶液中 进行反应制得绒面,反应温度为30℃-90℃,反应时间为5-30min。
2.根据权利要求1所述的一种金属催化金刚线切割多晶硅片的湿法制绒工艺,其特征 在于:步骤(b)混合溶液中包括催化剂,所述催化剂是含Cu2+离子物质,可以是CuCl2, CuSO4,Cu(NO3)2。
3.根据权利要求2所述的一种金属催化金刚线切割多晶硅片的湿法制绒工艺,其特征 在于:所述的Cu2+含量为0.01-5mmol/L。
4.根据权利要求1所述的一种金属催化金刚线切割多晶硅片的湿法制绒工艺,其特征 在于:所述的制绒反应体系为HF-H2O2或HNO3-HF酸洗体系。
5.根据权利要求1所述的一种金属催化金刚线切割多晶硅片的湿法制绒工艺,其特征 在于:所述的HF-H2O2或HNO3-HF混合溶液中HF质量分数为1%-30%,HNO3或H2O2质量分数为1%- 30%,其他成分为纯水溶剂。
6.根据权利要求1所述的一种金属催化金刚线切割多晶硅片的湿法制绒工艺,其特征 在于:所述的碱洗为质量分数为0.05-10%的NaOH水溶液常温下浸润2-10分钟。
7.根据权利要求1所述的一种金属催化金刚线切割多晶硅片的湿法制绒工艺,其特征 在于:所述的酸洗为质量分数为0.05-10%的HF水溶液常温下浸润2-10分钟。
8.根据权利要求1所述的一种金属催化金刚线切割多晶硅片的湿法制绒工艺,其特征 在于:所述的水洗为流动DI纯水中浸润1-5分钟。
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