[发明专利]一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法在审
| 申请号： | 201510911555.6 | 申请日： | 2015-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN105463583A | 公开（公告）日： | 2016-04-06 |
| 发明（设计）人： | 孙海平;黄石明;奚斌;王明明;刘仁中;张斌 | 申请（专利权）人： | 奥特斯维能源（太仓）有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 215434 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 金刚 切割 多晶 硅片 方法 | ||
1.一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法，其特征在于：包括步骤（a）制绒液配置；（b）制 绒：将硅片放置于制绒液中；（c）碱洗；（d）酸洗；（e）水洗；
所述步骤（b）中所述的制绒为将硅片放入含Ni2+离子的HF-H2O2或HNO3-HF混合溶液中 进行反应制得绒面，反应温度为30℃-90℃，反应时间为5-30min。
2.根据权利要求1所述的一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法，其特征在于：步骤（b） 混合溶液中包括催化剂，所述催化剂是含Ni2+离子物质，所述Ni2+离子物质为NiCl2, NiSO4,Ni(NO3)2中的一种。
3.根据权利要求2所述的一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法，其特征在于：所述的Ni 2+浓度为0.01-5mmol/L。
4.根据权利要求1所述的一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法，其特征在于：所述的制 绒反应体系为H2O2-HF或HNO3-HF酸洗体系。
5.根据权利要求1所述的一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法，其特征在于：所述的 HF-H2O2或HNO3-HF混合溶液中HF质量分数为1%-30%，HNO3或H2O2质量分数为1%-30%，其他成 分为纯水溶剂。
6.根据权利要求1所述的一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法，其特征在于：所述碱洗 溶液包括质量百分比为0.5-5%氢氧化钠水溶液。
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