[发明专利]用于永久连接两个金属表面的方法

权利要求书

1.用于在第一衬底的第一金属表面和第二衬底的第二金属表面之间制造永久的导电连接的方法，具有如下方法步骤：

定向和直接键合第一和第二金属表面，其中在两个金属表面紧密接触期间进行温度步骤，使得在第一和第二金属表面之间的空洞通过塑性变形被封闭，其中所述第一衬底包括围绕金属表面的非金属区域和/或所述第二衬底包括围绕金属表面的非金属区域，其中在单独的键合步骤中可以制造金属接触以及在非金属区域之间的接触两者。

2.根据上述权利要求之一所述的方法，其中，在处理第一和第二金属表面期间，附加地进行氢的注入。